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531. 新型電容式MEMS加速度計數(shù)字接口電路設(shè)計
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532. 基于MEMS的固體燃料微推進(jìn)技術(shù)研究進(jìn)展
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533. 基于MEMS慣性傳感器的人體多運(yùn)動模式識別
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534. 一種新型MEMS開關(guān)微驅(qū)動器研究與仿真
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535. 非硅MEMS器件微裝配系統(tǒng)的動靜態(tài)特性分析
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536. 用于細(xì)胞導(dǎo)入的MEMS聚焦超聲波器件的研究
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537. 基于MEMS技術(shù)的柔性多觸點(diǎn)深部腦刺激電極研制
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538. 引信用MEMS微驅(qū)動器的設(shè)計與仿真分析
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539. 一種防傾斜MEMS平行板靜電執(zhí)行器（英文）
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540. 引信用MEMS萬向慣性開關(guān)的結(jié)構(gòu)設(shè)計與優(yōu)化
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