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11. PECVD制備氫化硅氧薄膜及其光電特性研究
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12. 非晶硅鍺薄膜PECVD法制備與特性研究
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13. PECVD法制備非晶硅薄膜及光電性質(zhì)研究
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14. 富硅—氮化硅薄膜的PECVD制備及其退火處理研究
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15. PECVD系統(tǒng)淀積氮化硅工藝優(yōu)化的實現(xiàn)
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16. 基于流—熱—固多場耦合分析的PECVD裝置優(yōu)化設(shè)計
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17. PECVD氮化硅薄膜性能研究及熱學(xué)測試結(jié)構(gòu)設(shè)計
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18. 廉價襯底上PECVD法制備非晶硅薄膜的工藝研究
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19. 非晶硅薄膜晶體管PECVD成膜工藝的優(yōu)化研究
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20. PECVD技術(shù)在微結(jié)構(gòu)表面沉積薄膜的復(fù)形性
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