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1011. MEMS加速度傳感器信號(hào)處理電路設(shè)計(jì)
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1012. MEMS片上絕緣性能測試高阻標(biāo)準(zhǔn)件研制
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1013. 硅基共面波導(dǎo)RF MEMS開關(guān)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究
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1014. 基于MEMS慣性測量單元的多源信息自適應(yīng)步數(shù)檢測方法
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1015. 基于MEMS傳感器的高精度行人導(dǎo)航算法研究
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1016. MEMS諧振式壓力傳感器諧振器設(shè)計(jì)與分析
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1017. 基于MEMS技術(shù)的植入式柔性多觸點(diǎn)平面電極陣列
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1018. 一維MEMS矢量水聽器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與工藝制備
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1019. 基于MEMS傳感器的道面坡度提取技術(shù)研究
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1020. 基于MEMS技術(shù)低交叉干擾空間磁矢量傳感器研究
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