本文關(guān)鍵詞：電容傳感器線性度標(biāo)定平臺(tái)

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【摘要】：設(shè)計(jì)了一種電容位移傳感器在線標(biāo)定平臺(tái),用于位移的高精度調(diào)節(jié)和檢測(cè)。該平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)對(duì)稱(chēng)中心軸、測(cè)量光路的對(duì)稱(chēng)中心軸和傳感器的傳感軸共軸,故從測(cè)量原理上減小了阿貝誤差。標(biāo)定平臺(tái)具有z/tip/tilt調(diào)節(jié)功能,保證了傳感器的傳感面和被測(cè)面板的被測(cè)面之間的裝調(diào)對(duì)準(zhǔn)。介紹了標(biāo)定平臺(tái)的組成和標(biāo)定方法的原理,采用對(duì)稱(chēng)平行四邊形機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了微位移調(diào)節(jié),基于柔度矩陣法(CMM)分析了導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的輸出柔度和行程。試驗(yàn)測(cè)得動(dòng)平臺(tái)行程為735.162μm,和有限元法(FEM)、CMM計(jì)算結(jié)果的誤差分別為7.410%和4.633%,滿足行程誤差要求。經(jīng)過(guò)標(biāo)定補(bǔ)償后,傳感器的線性度由0.014 21%提高至0.006 231%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,該線性度標(biāo)定方法精度高,標(biāo)定后的傳感器滿足位移精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使用要求。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 電容傳感器 線性度標(biāo)定 標(biāo)定平臺(tái) 柔度矩陣
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61504142) 國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2009ZX02205)
【分類(lèi)號(hào)】：TP212
【正文快照】： 1引言高精度光學(xué)系統(tǒng)裝配集成時(shí)會(huì)出現(xiàn)位置誤差,為了達(dá)到理想的補(bǔ)償效果,需要位移精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)光學(xué)元件的位置[1],并應(yīng)用高精度的電容位移傳感器(簡(jiǎn)稱(chēng)傳感器)檢測(cè)調(diào)節(jié)位移量。為了減小傳感器測(cè)量誤差,一方面應(yīng)對(duì)其制造、運(yùn)輸和裝調(diào)過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格控制;另一方面可對(duì)傳感器進(jìn)

【參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：821498