本文關(guān)鍵詞：翹曲狀態(tài)下硅微懸臂梁固有頻率的變化規(guī)律

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【摘要】：為了研究微懸臂梁的翹曲狀態(tài)對其固有頻率的影響,使用有限元分析的方法對小長寬比和大長寬比兩種結(jié)構(gòu)尺寸的硅微懸臂梁在不同曲率半徑下的前五階模態(tài)固有頻率進行了仿真分析.結(jié)果表明,翹曲對小長寬比硅微懸臂梁固有頻率的影響很小;而對于大長寬比的硅微懸臂梁,當(dāng)曲率半徑為1 mm時,其第1階,第2階,第3階,第5階模態(tài)固有頻率的變化率分別為1%,26%,40%和15.8%,當(dāng)曲率半徑為3 mm時,其第4階模態(tài)固有頻率變化率為13.7%,可見翹曲對大長寬比硅微懸臂梁固有頻率的1階模態(tài)固有頻率的影響很小,而對第2、第3、第4和第5階模態(tài)固有頻率的影響則十分明顯.
【作者單位】： 渤海大學(xué)大學(xué)基礎(chǔ)教研部;渤海大學(xué)工學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微懸臂梁 翹曲 固有頻率 有限元分析 曲率半徑
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(No:51305191) 遼寧省教育廳一般項目(No:L2015009)
【分類號】：TP212;TH-39
【正文快照】： 0引言微懸臂梁是微機電系統(tǒng)中最常見,同時也是最重要的典型微結(jié)構(gòu)之一〔1-5〕.在很多MEMS微傳感器中,微懸臂梁或具備微懸梁特征的微結(jié)構(gòu)是作為核心功能結(jié)構(gòu)而存在的,并在很大程度上影響這些器件的使用性能.這些具備傳感功能的微懸臂梁在工作方式上可以分為兩大類,一類是靜態(tài)工

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本文編號：629178