控制回路噪聲是閉環(huán)傳感器的主要噪聲源,對閉環(huán)傳感器測量精度有重要影響。繼續(xù)從噪聲源的角度改善閉環(huán)傳感器噪聲性能十分困難,導致閉環(huán)傳感器精度提升陷入瓶頸。論文深入研究控制回路噪聲整形機理,提出在控制回路噪聲傳遞路徑上進行優(yōu)化,從而減小閉環(huán)傳感器噪聲,為進一步提升閉環(huán)傳感器精度奠定基礎。論文主要研究內容如下:(1)研究閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形機理。通過分析控制回路檢測噪聲傳遞函數(shù)和驅動噪聲傳遞函數(shù),得到檢測噪聲和驅動噪聲經(jīng)過閉環(huán)回路以后的頻譜特征,及影響頻譜特征的關鍵因素,建立閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型。為了驗證該模型,研制加速度閉環(huán)傳感器樣機,單獨測試樣機控制回路噪聲和閉環(huán)傳感器噪聲,與模型預測結果比較。實驗結果與預測結果具有較好的一致性,證明了閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型的有效性。(2)研究閉環(huán)傳感器控制回路噪聲傳遞路徑優(yōu)化方法。在閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型基礎上,針對敏感結構擺性、檢測結構增益、檢測模塊增益、敏感結構彎曲剛度以及控制模塊積分系數(shù)五項關鍵因素,通過理論分析與仿真驗證,研究每一項關鍵因素的優(yōu)化方法及其效果。采用所提出的優(yōu)化方法,改進加速度閉環(huán)傳感器樣機。樣機直...

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圖１－１?ＱＡ３０００系列和ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計〖２５＿２７］??

浙江大學博士學位論文?１緒論??術學科發(fā)展報告》指出低噪聲加速度計仍是我囯未來重要的研究方向［３３］。??ｍｍ，??（ａ）?ＱＡ３０００系列石英撓性加速度計?（ｂ）?ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計??圖１－１?ＱＡ３０００系列和ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計〖２５＿２７］??硅微加速....

圖１－２基于差分雙質量塊結構的硅微加速度計Ｉ３７】??

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圖１－３單載波調制解調差分電容檢測電路原理［４６）??為了進一降低控制回路檢測模塊噪聲功率，突破電容檢測電路噪能的??

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圖１－４基于激光干涉檢測的石英撓性加速度計Ｉ？１??

浙江大學博士學位論文?１緒論??Ｐｅｎｄｕｌｏｕｓ?ｒｅｅｄ?■?■■?■?？■?■?ｉ??＼?１１＾???ＪａＡＪ－ＡａＬ，，?ｃ＿ｌ?—?ＦＷ１Ａ?］??Ｐ＿?／ＬＺＬ?ｙ?廣??Ｍａｇｎｅｔ?／?Ｉ??／ｙ?／?／?ｔｊｔｐｊ?ｐｉ＞?？?ｌ／Ｖ??Ｌ－Ｊ??Ｔｏｒｑｕｅ?....

本文編號：3940018