隨著科技的進(jìn)步和社會(huì)的發(fā)展,科學(xué)技術(shù)在帶給人們便利的同時(shí)也給我們的生活環(huán)境造成了污染。尤其是近年來(lái),由于工業(yè)廢氣和汽車(chē)尾氣的大量排放,不可避免的造成了大氣污染；此外,隨著物聯(lián)網(wǎng)概念的提出和智能家居的出現(xiàn),人們對(duì)室內(nèi)由于揮發(fā)性氣體造成的室內(nèi)空氣污染問(wèn)題也更加關(guān)心。因此,制造出高性能低功耗的氣體傳感器應(yīng)用于室內(nèi)空氣檢測(cè)和特殊場(chǎng)合的氣體檢測(cè)是氣體傳感器領(lǐng)域的研究重點(diǎn)。在本論文中我們分別制作了以ZnO和LaFeO₃為敏感材料的電阻型傳感器,和以YSZ納米纖維作為固體電解質(zhì)材料,以ZnO和LaFeO₃分別作為敏感電極和參考電極制作出ZnO|YSZ|LaFeO₃混合電位型氣體傳感器。通過(guò)對(duì)敏感材料、電解質(zhì)材料等進(jìn)行微觀形貌改造,研究他們的電阻型和電位型傳感器的氣敏性能,以期達(dá)到性能增益的目的。主要研究?jī)?nèi)容分為以下三部分：1.采用化學(xué)氣相沉積(CVD)法制備了ZnO納米顆粒,并采用X射線衍射儀(XRD)、場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡(FE-SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)材料進(jìn)行了表征。采用比表面及孔徑分析儀測(cè)定了ZnO納米顆粒的比表面積和孔...

【文章頁(yè)數(shù)】：53 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 氣體傳感器概述
        1.2.1 氣體傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)
        1.2.2 氣體傳感器分類(lèi)
        1.2.3 氣體傳感器工作原理
    1.3 功能材料
        1.3.1 敏感功能材料概述
        1.3.2 金屬氧化物半導(dǎo)體簡(jiǎn)介
    1.4 氣敏材料制備及表征設(shè)備
        1.4.1 氣敏材料制備方法
        1.4.2 材料性能表征分析設(shè)備
    1.5 本論文的主要工作
第2章 ZnO納米顆粒乙醇傳感器的制作及性能研究
    2.1 引言
    2.2 ZnO納米顆粒的制備及表征
        2.2.1 ZnO納米顆粒的制備
        2.2.2 ZnO納米顆粒的表征
    2.3 ZnO納米顆粒氣體傳感器的制作及性能測(cè)試
        2.3.1 ZnO納米顆粒氣體傳感器的制作及老化
        2.3.2 ZnO納米顆粒氣體傳感器性能分析
    2.4 ZnO納米顆粒的氣敏特性機(jī)理研究
    2.5 本章小結(jié)
第3章 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的制作及性能研究
    3.1 引言
    3.2 LaFeO₃顆粒的制備、表征及器件制作
        3.2.1 LaFeO₃顆粒材料的制備
        3.2.2 LaFeO₃顆粒材料的表征
        3.2.3 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的制作及老化
    3.3 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的氣敏性能分析
    3.4 LaFeO₃對(duì)甲醛的氣敏機(jī)理分析
    3.5 本章小結(jié)
第4章 ZnO|YSZ|LaFeO₃混合電位型氣體傳感器制作及性能測(cè)試
    4.1 引言
    4.2 YSZ與電極材料的制備及表征
        4.2.1 YSZ納米纖維的制備
        4.2.2 YSZ納米纖維的表征
        4.2.3 ZnO材料的制備與表征
        4.2.4 LaFeO₃材料的制備與表征
    4.3 ZnO|YSZ|LaFeO₃傳感器制作及性能測(cè)試
        4.3.1 器件制作流程
        4.3.2 氣敏性能測(cè)試
    4.4 ZnO|YSZ|LaFeO₃傳感器氣敏機(jī)理分析
    4.5 本章小結(jié)
第5章 總結(jié)與展望
    5.1 論文總結(jié)
    5.2 工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表論文情況



本文編號(hào)：3938967