真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線是制備低輻射玻璃、ITO導(dǎo)電玻璃和CIGS薄膜太陽能電池玻璃的關(guān)鍵設(shè)備,具有巨大的市場(chǎng)需求量。中國的玻璃鍍膜自動(dòng)化生產(chǎn)線起步較晚,長(zhǎng)期以來主要依賴于進(jìn)口,控制系統(tǒng)直接關(guān)系到企業(yè)的安全高效生產(chǎn),因此加快自主研發(fā)真空磁控濺射玻璃鍍膜生產(chǎn)線對(duì)于企業(yè)具有重要意義。根據(jù)國內(nèi)某公司的實(shí)際生產(chǎn)需求,結(jié)合真空磁控濺射法的原理,對(duì)鍍膜玻璃真空裝備生產(chǎn)線控制系統(tǒng)展開研究。首先針對(duì)玻璃鍍膜生產(chǎn)線復(fù)雜生產(chǎn)工藝問題,使用SoildWorks軟件設(shè)計(jì)單個(gè)真空腔體結(jié)構(gòu),采用ANSYS Workbench 18.0軟件對(duì)單個(gè)真空室進(jìn)行模態(tài)分析。其次研究工藝過程控制中真空環(huán)境控制系統(tǒng)、真空泵組的運(yùn)行策略、傳動(dòng)控制系統(tǒng)和真空室溫度控制系統(tǒng)等各個(gè)子系統(tǒng)。然后,重點(diǎn)研究了CIGS薄膜太陽能電池玻璃制備過程中的溫度控制系統(tǒng),為提高控制系統(tǒng)的響應(yīng)速度和穩(wěn)定性,創(chuàng)建溫度控制系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型,使用MATLAB軟件仿真模擬分析模糊自適應(yīng)PID控制算法與傳統(tǒng)PID控制算法之間的優(yōu)缺點(diǎn),并應(yīng)用于實(shí)際工程中。最后研究了生產(chǎn)線控制系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì),采用兩臺(tái)西門子S7-400系列PLC作為下位機(jī)控制核心,WinCC7.0組態(tài)作為...

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1Low-e玻璃Fig1Low-eglass

的熱量消耗占整個(gè)建筑物圍護(hù)結(jié)構(gòu)耗熱量的50%以業(yè)正處于快速發(fā)展的時(shí)代，低輻射鍍膜玻璃和光勢(shì)，在構(gòu)建節(jié)能、環(huán)保以及光伏一體化綠色建筑藝用真空裝備是生產(chǎn)低輻射鍍膜玻璃（Low-E玻璃膜玻璃[3]）以及CIGS薄膜太陽能電池背電極[4]等段高本底真空度和工藝濺射期間真空度的穩(wěn)定....

圖2磁控濺射工作原理圖

圖2磁控濺射工作原理圖Fig2SchematicdiagramofmagnetronsputteringLow-E玻璃主要有兩種方法[11]:一是在線Low-E線Low-E玻璃鍍膜工藝即當(dāng)浮法玻璃尚處于熔融金屬的溶液或粉末，與熔融的玻璃結(jié)合或發(fā)生化面形成低....

圖3動(dòng)態(tài)磁控濺射示意圖

圖3動(dòng)態(tài)磁控濺射示意圖Fig3Schematicdiagramofdynamicmagnetronsputtering國內(nèi)真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線自動(dòng)化水平偏低，根據(jù)國內(nèi)某公，結(jié)合磁控濺射法的原理，對(duì)鍍膜玻璃真空裝備控制系統(tǒng)進(jìn)行法與自動(dòng)化加工技術(shù)結(jié)合，以玻璃鍍膜控制....

圖4真空腔體三維模型

計(jì)傳輸控制系統(tǒng)，對(duì)玻璃位置定位和長(zhǎng)度測(cè)量進(jìn)行研究。.1真空腔體結(jié)構(gòu)首先使用SolidWorks軟件對(duì)單個(gè)真空腔體建立三維模，并將模型導(dǎo)入ANSYorkbench18.0中的模態(tài)分析模塊，得出前六階模態(tài)頻率。當(dāng)真空泵工作時(shí)，電勵(lì)磁頻率和諧波頻率應(yīng)盡量避免腔體的模態(tài)頻率，....

本文編號(hào)：3921324