【摘要】：提出了一種考慮溫度影響的基于光子晶體的微壓力傳感器,傳感器由微壓力傳感和溫度傳感兩部分構(gòu)成,其中微壓力傳感部分測(cè)量的是所處溫度環(huán)境下的壓力值。兩部分傳感器均利用波導(dǎo)和腔的耦合實(shí)現(xiàn)帶阻濾波功能,根據(jù)帶阻濾波器的模式在所處溫度下線性紅移,分別計(jì)算相應(yīng)的溫度值和該溫度下的壓力值,并通過熱光效應(yīng)和熱膨脹效應(yīng)計(jì)算出溫度對(duì)器件材料折射率的影響,從而得到真實(shí)的微壓力。文中對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了1.33nm/μN(yùn)的微壓力靈敏度。
[Abstract]:A photonic crystal-based micro-pressure sensor based on photonic crystal is proposed. The sensor is composed of two parts: micro-pressure sensor and temperature sensor, in which the micro-pressure sensor is used to measure the pressure value in the temperature environment. Both sensors use the coupling of waveguide and cavity to realize band-stop filtering function. According to the linear red-shift of the mode of band-stop filter at the same temperature, the corresponding temperature value and the pressure value at this temperature are calculated, respectively. The effect of temperature on the refractive index of the material is calculated by thermal-optic effect and thermal expansion effect, and the real micro-pressure is obtained. The structure parameters are optimized and the micro pressure sensitivity of 1.33nm/ 渭 N is realized.
【作者單位】： 南京郵電大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：江蘇省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(BK20160909,20130874) 江蘇省研究生創(chuàng)新項(xiàng)目(YLX_0801,SJLX15_0376) 江蘇省高校教育基金項(xiàng)目(JB510025) 南京郵電大學(xué)校內(nèi)項(xiàng)目(NY214051,215084)
【分類號(hào)】：TP212

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 姚智慧,張付祥;機(jī)器人六維力傳感器研究概況及發(fā)展預(yù)測(cè)[J];廣東自動(dòng)化與信息工程;2002年03期

2 濤;;0.04級(jí)精密力傳感器[J];儀器儀表通訊;1973年02期

3 高建樹;機(jī)電誤差互補(bǔ)法在力傳感器中的應(yīng)用[J];傳感器技術(shù);2000年04期

4 程衛(wèi)東,董永貴,馮冠平;石英諧振力傳感器加載機(jī)構(gòu)理論及實(shí)驗(yàn)[J];遼寧工程技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2000年01期

5 程衛(wèi)東 ,董永貴,馮冠平;石英諧振力傳感器加載機(jī)構(gòu)理論及實(shí)驗(yàn)[J];遼寧工程技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2000年02期

6 朱超甫,李元,陳虎平,宋惠改;多個(gè)力傳感器的共同測(cè)試技術(shù)[J];傳感器世界;2001年05期

7 沈久珩;大力測(cè)量技術(shù)的新進(jìn)展——附著式超輕型大力傳感器[J];中國(guó)工程科學(xué);2001年10期

8 張小龍,張為公;輪力傳感器及其在汽車道路試驗(yàn)中的應(yīng)用[J];儀表技術(shù)與傳感器;2005年01期

9 王志剛,李振加,曲國(guó)軍;一種新型軌道二維力傳感器的研究[J];黑龍江工程學(xué)院學(xué)報(bào);2005年02期

10 尹瑞多,王宣銀,程佳,李強(qiáng);廣義六維力傳感器的特點(diǎn)及研究和應(yīng)用狀況[J];液壓與氣動(dòng);2005年10期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 沈久珩;;大力測(cè)量技術(shù)的新進(jìn)展——附著式大力傳感器[A];面向21世紀(jì)的科技進(jìn)步與社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展（下冊(cè)）[C];1999年

2 高建樹;;機(jī)電誤差互補(bǔ)法在力傳感器中的應(yīng)用[A];2000全國(guó)力學(xué)量傳感器及測(cè)試、計(jì)量學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2000年

3 楊敏;申飛;;一種大量程六維力傳感器標(biāo)定方法[A];第22屆全國(guó)結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集第Ⅰ冊(cè)[C];2013年

4 閆榮格;楊慶新;樊長(zhǎng)在;陳海燕;劉福貴;;超磁致伸縮力傳感器的研究[A];2005年中國(guó)固體科學(xué)與新材料學(xué)術(shù)研討會(huì)專輯[C];2005年

5 陳樂;宋愛國(guó);;三維力傳感器的設(shè)計(jì)[A];2008年江蘇省計(jì)量測(cè)試學(xué)術(shù)論文集[C];2008年

6 趙玉虎;林明;張鳴雷;蒲浩;吳文凱;;力傳感器在離心機(jī)平衡檢測(cè)與保護(hù)系統(tǒng)中的應(yīng)用[A];四川省電子學(xué)會(huì)傳感技術(shù)第九屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2005年

7 葉璇;李喜德;;變剛度后屈曲式微力傳感器的數(shù)值模擬與設(shè)計(jì)[A];北京力學(xué)會(huì)第20屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2014年

8 劉意楊;王越超;于鵬;席寧;董再勵(lì);;亞μN(yùn)微力傳感器信號(hào)處理及標(biāo)定方法的研究[A];第六屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2008年

9 汪恩清;丁世敬;;YML型錨索力傳感器環(huán)境防護(hù)技術(shù)[A];1998電子產(chǎn)品防護(hù)技術(shù)研討會(huì)論文集[C];1998年

10 崔巖;佟建華;董維杰;王立鼎;;基于硅基PZT微力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)的初步研究[A];中國(guó)微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會(huì)年會(huì)論文集（一）[C];2005年

，

本文編號(hào)：2461920