【摘要】：利用介孔材料MCM-41作為石英晶體微天平(Quartz Crystal Micro-Balance,QCM)質(zhì)量型傳感器的濕敏材料來(lái)構(gòu)建濕度傳感器。采用X-ray、SEM、BET等對(duì)樣品的結(jié)構(gòu)和形貌進(jìn)行了表征和分析,并系統(tǒng)研究了其濕敏性能。結(jié)果表明,該濕度傳感器具有濕度量程大(1%～100%RH)、靈敏度高、穩(wěn)定性好、濕滯小、易于集成化等優(yōu)點(diǎn)。
[Abstract]:The humidity sensor was constructed by using mesoporous material MCM-41 as humidity sensitive material of quartz crystal microbalance (Quartz Crystal Micro-Balance,QCM mass sensor. The structure and morphology of the samples were characterized and analyzed by X-rayne SEM BET et al. The humidity sensitivity of the samples was systematically studied. The results show that the humidity sensor has the advantages of large humidity range (1%~100%RH), high sensitivity, good stability, small humidity lag and easy integration.
【作者單位】： 上海第二工業(yè)大學(xué)環(huán)境與材料工程學(xué)院;上海巨浪環(huán)�？萍及l(fā)展有限公司;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.51678353) 上海市自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.15ZR1416800) 浦東新區(qū)科技發(fā)展基金(No.PKJ2015-C07&PKJ2015-C14) 上海第二工業(yè)大學(xué)培育學(xué)科(No.XXKPY1601)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TP212

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2 劉U，

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