本文關(guān)鍵詞：多線切割機(jī)張力控制系統(tǒng)的分析與校正

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【摘要】：針對(duì)原多線切割機(jī)設(shè)計(jì)中控制系統(tǒng)穩(wěn)定性差的問(wèn)題,建立了張力控制系統(tǒng)的模型,分析了鋼絲拉伸變形對(duì)于控制系統(tǒng)穩(wěn)定性的影響,提出了新的用于產(chǎn)生鋼絲張力的伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)矩控制方案,并通過(guò)理論分析和實(shí)際使用證明,改進(jìn)后的控制方法有效提高了張力控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性,滿足了設(shè)備的使用要求。
【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所;
【基金】：國(guó)家02科技重大專項(xiàng)“硅材料設(shè)備應(yīng)用工程”(2009ZX02011-002A)支持項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TP273
【正文快照】： 多線切割機(jī)是一種用于半導(dǎo)體材料及脆硬材料切割的設(shè)備,和傳統(tǒng)的切片機(jī)相比,多線切割機(jī)具有生產(chǎn)效率高、材料損耗少的優(yōu)點(diǎn),同時(shí),所加工的硅片具有彎曲度小、翹曲度小、表面損傷層淺及表面粗糙度值小等優(yōu)點(diǎn),是目前半導(dǎo)體材料加工的關(guān)鍵設(shè)備。但同時(shí),多線切割機(jī)也是一種復(fù)雜的設(shè)

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1290021