波紋膜片式光纖法布里-珀羅壓力傳感器
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【摘要】:設(shè)計(jì)并研制了一種新型的波紋膜片式光纖法布里-珀羅壓力傳感器,運(yùn)用仿真軟件對(duì)波紋膜片進(jìn)行膜片參數(shù)的優(yōu)化,完成了波紋膜片式法布里-珀羅壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制備,同時(shí)用搭建的微壓傳感器測(cè)試系統(tǒng)對(duì)壓力傳感器進(jìn)行了測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本傳感器在0~0.1 MPa的壓力范圍內(nèi),線性度好,重復(fù)性好,靈敏度高。
【作者單位】: 南京師范大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院江蘇省光電技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金(61178044) 江蘇省普通高校研究生實(shí)踐創(chuàng)新培養(yǎng)工程(KYLX_0723,SJLX15_0297)
【分類(lèi)號(hào)】:TP212
【正文快照】: 1引言光纖壓力傳感器具有抗輻射、抗電磁干擾、耐高溫、耐腐蝕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)[1-3],適合用于工程建設(shè)、石油鉆井、大型變電設(shè)備等高輻射、高電磁干擾、高溫高壓等極端環(huán)境。為了更安全、準(zhǔn)確、便捷地獲取傳感器的壓力信息,提高測(cè)量精度,需要開(kāi)發(fā)新的材料或進(jìn)行新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):1142888
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