羅躍生, 導(dǎo)師:談?wù)穹?硅微型陀螺儀的力學(xué)分析和數(shù)學(xué)模型
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文獻(xiàn)名稱:硅微型陀螺儀的力學(xué)分析和數(shù)學(xué)模型
前言:硅微型振動(dòng)陀螺儀是隨著微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而研制出的一類新型角速率傳感器。這類陀螺儀在工作時(shí),用微幅振動(dòng)代替高速旋轉(zhuǎn),從而使它可以具有體積小,重量輕以及成本低,可靠性高,易于批量生產(chǎn)和便于與電子線路集成等傳統(tǒng)陀螺儀無法比擬的優(yōu)點(diǎn)。預(yù)計(jì)在以后的幾年里這類新型角速率傳感器——硅微型振動(dòng)陀螺儀——也會(huì)作為一種成熟的產(chǎn)品廣泛的應(yīng)用于軍用和民用的許多領(lǐng)域。 陀螺儀性能的好壞直接制約著它的用途。因此,如何提高硅微型振動(dòng)陀螺儀的精度,是它走向市場(chǎng)首要解決的問題。而要提高硅微型振動(dòng)陀螺儀的精度,首先要掌握硅微型振動(dòng)陀螺儀的工作機(jī)理。為此本文研究了幾種典型的硅微型振動(dòng)陀螺儀的基本運(yùn)動(dòng)規(guī)律,,建立了相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型,最后分析了它們的工作規(guī)律。其主要工作(創(chuàng)新點(diǎn))歸納如下: 1.研究了硅微型梳狀線振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀的基本結(jié)構(gòu),詳細(xì)討論了它的工作原理。利用牽連運(yùn)動(dòng)的加速度合成定理,通過嚴(yán)格的力學(xué)分析和嚴(yán)密的數(shù)學(xué)演算首先得到其活動(dòng)質(zhì)量當(dāng)陀螺儀在慣性坐標(biāo)系中作定常角速度轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的加速度表達(dá)式。并利用牛頓力學(xué)定律推導(dǎo)了硅微型梳狀線振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀工作時(shí)所滿足的精確的微分方程模型。而且在不同情況下對(duì)數(shù)...
Silicon micromechanical vibration gyroscopes are a new kind of sensors for measuring the inertial angular velocity and they have been developed with the microelectronic technology and micromaching technology. Owning to using of the microamplitude vibration instead of high-speed rotation, the new sensors have many advantages over the conventional gyroscopes, such as smaller size, less weight, lower cost, higher reliability, being able to be produced in batch and to be integrated with electronic circuits, and...
文獻(xiàn)名稱 硅微型陀螺儀的力學(xué)分析和數(shù)學(xué)模型
Article Name
英文(英語)翻譯
Dynamic Analysis and Mathematical Model of Silicon Micromechanical Vibration Gyroscope;
作者 羅躍生; 導(dǎo)師:談?wù)穹?
Author
作者單位
Author Agencies
哈爾濱工程大學(xué);
文獻(xiàn)出處
Article From
中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所; 材料物理與化學(xué)(專業(yè)) 博士論文 2000年度
關(guān)鍵詞 硅微陀螺儀; 微分方程模型; 加速度合成定理; 牛頓力學(xué)定律; 歐拉動(dòng)力學(xué)方程; 硅微型梳狀線振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀; 振動(dòng)輪式微機(jī)械陀螺儀; 音叉式(梳狀)線振動(dòng)硅微陀螺儀; 框架式硅微角振動(dòng)陀螺儀; 內(nèi)框驅(qū)動(dòng)雙框架式硅微角振動(dòng)陀螺儀;
Keywords micromechanical silicon gyroscopes;differential equation model;composition theorem of acceleration;Newton's mechanics laws;Euler's dynamics equation;lateral comb drive micromechanical silicon gyrosc
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本文關(guān)鍵詞:硅微型陀螺儀的力學(xué)分析和數(shù)學(xué)模型,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
本文編號(hào):65540
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