發(fā)布時(shí)間：2017-10-06 02:01

  本文關(guān)鍵詞：常壓封裝下隧道磁阻微陀螺的高靈敏結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

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【摘要】：針對現(xiàn)有微陀螺難以實(shí)現(xiàn)常壓封裝下高靈敏檢測的難題,設(shè)計(jì)了兩種應(yīng)用隧道磁阻效應(yīng)檢測的微陀螺結(jié)構(gòu),分別采用面內(nèi)檢測與離面檢測,本文從阻尼與檢測磁場兩方面對二者性能進(jìn)行分析。首先通過對二者阻尼的計(jì)算,得到常壓下面內(nèi)檢測結(jié)構(gòu)的靈敏度為35.18 nm/(°/s),離面檢測結(jié)構(gòu)的靈敏度為3.19 nm/(°/s),面內(nèi)結(jié)構(gòu)比離面結(jié)構(gòu)的靈敏度高約10倍,從阻尼方面考慮,采用面內(nèi)檢測的結(jié)構(gòu)更優(yōu);其次設(shè)計(jì)了應(yīng)用于兩種結(jié)構(gòu)中的檢測磁場,得到了面內(nèi)檢測磁場相比于離面檢測磁場具有更高的磁場變化率,更好的磁場一致性,從磁場方面考慮,同樣得到面內(nèi)檢測的微陀螺結(jié)構(gòu)更優(yōu)。因此,應(yīng)用面內(nèi)檢測結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)隧道磁阻微陀螺在常壓下的高靈敏檢測。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;中北大學(xué)微系統(tǒng)集成研究中心;
【關(guān)鍵詞】： MEMS陀螺 隧道磁阻效應(yīng) 高Q值 結(jié)構(gòu)靈敏度
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61571405) 基金項(xiàng)目(62201070516) 山西省攻關(guān)項(xiàng)目(20130322005-04)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 微機(jī)械陀螺的核心技術(shù)是由柯氏效應(yīng)引起的微應(yīng)力或微位移的高精度檢測。隨著微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的成熟,微機(jī)械陀螺由于其成本低、體積小、易批量化生產(chǎn)以及易集成等優(yōu)點(diǎn),在民用及國防領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1-2]。清華大學(xué)[3]于2015年研制了一種低機(jī)械噪聲電容式微機(jī)械陀螺敏

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號(hào)：980069