本文關(guān)鍵詞：平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)連桿微變形測(cè)量系統(tǒng)

  更多相關(guān)文章： 微位移 平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī) PSD 變形 誤差 樣條插值

【摘要】：為準(zhǔn)確測(cè)量平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)零件彈性變形量,從而對(duì)由此引起的測(cè)量誤差進(jìn)行補(bǔ)償,進(jìn)一步提高平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度和可靠性,介紹了一種基于PSD位移檢測(cè)的桿件微變形測(cè)量方法,通過激光參考光束將變形量的測(cè)量轉(zhuǎn)化為位移量的測(cè)量。以FPGA為核心搭建信號(hào)轉(zhuǎn)換、采集及傳輸電路。在Lab VIEW環(huán)境編寫上位機(jī)軟件分析測(cè)量數(shù)據(jù)。使用ANSYS軟件進(jìn)行力學(xué)仿真分析提出測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)具備的精度指標(biāo)及測(cè)量范圍。使用激光干涉儀標(biāo)定系統(tǒng)響應(yīng)特性,通過2D等電壓間隔輸出實(shí)驗(yàn)測(cè)定PSD有效面積內(nèi)的位移響應(yīng)矩陣,采用2D雙三次樣條插值法修正系統(tǒng)響應(yīng)的非線性誤差。實(shí)驗(yàn)證實(shí)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)1.32μm(2σ)的位移測(cè)量精度�？捎糜谄叫须p關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)桿件變形測(cè)量,且其安裝尺寸較小,可以實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微位移 平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī) PSD 變形 誤差 樣條插值
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51375137)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH721
【正文快照】： 1引言坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是以精密機(jī)械為基礎(chǔ)的機(jī)、電、光、計(jì)算機(jī)融于一體的高精度測(cè)量設(shè)備。用于測(cè)量三維空間內(nèi)的位置信息,可以通過一次夾裝,多點(diǎn)測(cè)量結(jié)合不同類型的探頭組合測(cè)量多種幾何元素,結(jié)合相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理軟件可以獲取三維空間內(nèi)的所有幾何量信息。為適應(yīng)不同環(huán)境及測(cè)量對(duì)象

【參考文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：978860