本文關(guān)鍵詞：滾轉(zhuǎn)角測量中直角棱鏡相位損失及解決方法

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【摘要】：在利用正交偏振光外差干涉相位法測量數(shù)控機床滾轉(zhuǎn)角誤差的過程中,發(fā)現(xiàn)反射元件直角棱鏡造成的相位損失對系統(tǒng)分辨率產(chǎn)生了不可忽略的影響,通過瓊斯矩陣運算,量化了該相位損失對實驗結(jié)果的影響,并進(jìn)行了實驗驗證;同時,針對相位損失問題,提出了基于高反膜相長干涉原理的解決方法。結(jié)果表明:直角棱鏡引入的相位損失使測量系統(tǒng)在靈敏區(qū)的放大倍數(shù)降低了40.7%,而基于平面反射鏡的解決方案基本消除了相位損失對測量系統(tǒng)分辨率的影響;滾轉(zhuǎn)角誤差引起的相位變化幅度由原來的55.8°上升到使用平面反射鏡時的349.2°,與參考實驗數(shù)據(jù)358.5°的變化幅度十分接近,從而證明了應(yīng)用高反膜相長干涉原理解決相位損失問題的可行性。該原理和方法同時為解決全反射導(dǎo)致的光學(xué)相位變化問題提供了理論依據(jù)和解決思路。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機械工程學(xué)院;陜西恒通智能機器有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 滾轉(zhuǎn)角 直角棱鏡 相位損失 相長干涉 平面反射鏡
【基金】：國家科技重大專項資助項目(2012ZX04003071)
【分類號】：TH741.2
【正文快照】： 機床滾轉(zhuǎn)角的測量在機床誤差檢測中是一個棘手的問題,目前基于正交偏振光的測量方法研究比http:∥www.jdxb.cn http:∥zkxb.xjtu.edu.cn較多,并有較好的應(yīng)用前景[1-7]。利用激光偏振面對旋轉(zhuǎn)的敏感性,光路中傳感元件的旋轉(zhuǎn)往往會引起正交偏振光光強、相位或頻差的變化,利用這

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本文編號：957055