本文關(guān)鍵詞：干涉條紋帶寬與波前頻譜關(guān)系研究

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【摘要】：干涉測(cè)量法是測(cè)量科學(xué)中最有效的手段之一,而無(wú)論是要增大其動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍還是要檢測(cè)面形的高頻誤差,都受限于檢測(cè)的空間帶寬,故干涉條紋帶寬與波前頻譜的關(guān)系就成為關(guān)注的重點(diǎn)。針對(duì)這一需求,結(jié)合傅里葉光學(xué)理論對(duì)干涉條紋帶寬與波前頻譜的關(guān)系進(jìn)行了理論分析和仿真實(shí)驗(yàn),得到了干涉條紋帶寬與波前頻譜的數(shù)值對(duì)應(yīng)關(guān)系。結(jié)果表明,干涉條紋強(qiáng)度分布的空間頻譜是波前分布函數(shù)的空間頻譜基礎(chǔ)上的擴(kuò)展,擴(kuò)展程度取決于波前分布的幅頻積。頻譜擴(kuò)展程度與波前分布的幅頻積呈正比,波前分布的幅頻積越大,空間頻譜擴(kuò)展越寬。根據(jù)CCD分辨率確定干涉圖的總帶寬,可以計(jì)算出能測(cè)的波前最大空間頻率,對(duì)后續(xù)研究各種干涉方法的頻譜特性以及如何進(jìn)行頻譜帶寬的優(yōu)化分配,從而進(jìn)一步提高可測(cè)面形空間頻率的測(cè)量范圍提供了理論依據(jù)。
【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)光電測(cè)試技術(shù)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;北京理工大學(xué)光電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 條紋帶寬 空間頻率 波前頻譜
【基金】：教育部“長(zhǎng)江學(xué)者與創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”發(fā)展計(jì)劃(IRT1212) 北京市教委科研計(jì)劃項(xiàng)目(KM201511232006)
【分類(lèi)號(hào)】：O436.1;TH74
【正文快照】： 1引言光學(xué)元件干涉檢測(cè)技術(shù)朝著大口徑、高精度、高分辨率、高測(cè)量重復(fù)性及抗干擾等方向發(fā)展。目前存在的主要問(wèn)題是:高空間分辨率與大口徑的矛盾,高精度與可測(cè)波前大動(dòng)態(tài)范圍的矛盾。這兩對(duì)矛盾是大口徑光學(xué)元件干涉檢測(cè)的難點(diǎn),也是該領(lǐng)域近期的研究熱點(diǎn)。各種測(cè)量方法中涉及

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：954024