發(fā)布時間：2017-09-29 23:13

  本文關鍵詞：應用于比長儀的光電顯微鏡的設計

  更多相關文章： 光學設計 比長儀 光電顯微鏡 光電倍增管 測量精度

【摘要】：光電顯微鏡是應用于微小結構觀察和非接觸測量的高精度瞄準儀器,本課題設計了一套應用于比長儀的光電顯微鏡系統(tǒng),可以對玻璃或金屬線紋刻尺進行高精度瞄準測量。在分析比長儀國內外發(fā)展現(xiàn)狀的基礎上,闡述了比長儀和光電顯微鏡的工作原理,提出了應用于比長儀的光電顯微鏡總體設計方案。著重設計光電顯微鏡的光學系統(tǒng),根據使用要求計算出光電顯微鏡的設計參數,運用ZEMAX軟件分別設計光電顯微鏡的物鏡系統(tǒng)、觀察系統(tǒng)和照明系統(tǒng),并對設計結果進行公差分析。選取高靈敏度的光電倍增管作為光電轉換器件,設計了前置放大電路。分析了影響光電顯微鏡瞄準精度的因素,并提出了解決方案,通過實驗得出光電顯微鏡的瞄準精度為0.03μm。
【關鍵詞】：光學設計 比長儀 光電顯微鏡 光電倍增管 測量精度
【學位授予單位】：長春理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TH742
【目錄】：

• 摘要4-5
• ABSTRACT5-8
• 第一章 緒論8-12
• 1.1 課題研究背景8
• 1.2 國內外發(fā)展現(xiàn)狀8-10
• 1.3 課題研究的目的及意義10
• 1.4 論文研究的主要內容10-12
• 1.4.1 論文主要研究內容10
• 1.4.2 論文主要技術指標10-12
• 第二章 比長儀的工作原理及分類12-19
• 2.1 立式接觸式干涉比長儀12-13
• 2.2 立式光學計13-14
• 2.3 數字顯示立式光學計14-15
• 2.4 立式激光測長儀15-16
• 2.5 萬能測長儀16-17
• 2.6 數字式萬能測長儀17-19
• 第三章 光電顯微鏡的工作原理19-24
• 3.1 光電顯微鏡的工作原理19
• 3.2 光電顯微鏡的總體設計方案19-20
• 3.3 光電顯微鏡的光學成像原理20-24
• 3.3.1 顯微物鏡的放大倍率21
• 3.3.2 顯微鏡物鏡的數值孔徑21-22
• 3.3.3 顯微鏡的分類22-23
• 3.3.4 物方遠心光路23-24
• 第四章 光電顯微鏡的光學系統(tǒng)設計24-43
• 4.1 顯微鏡物鏡設計參數的確定24-25
• 4.2 顯微鏡物鏡的設計25-35
• 4.2.1 初始結構的選取25-30
• 4.2.2 顯微物鏡的優(yōu)化設計30-32
• 4.2.3 顯微物鏡的設計結果32-33
• 4.2.4 顯微物鏡公差分析33-35
• 4.3 觀察系統(tǒng)的設計35-39
• 4.3.1 觀察小物鏡系統(tǒng)的設計35-36
• 4.3.2 觀察目鏡系統(tǒng)的設計36-38
• 4.3.3 觀察系統(tǒng)的公差分析38-39
• 4.4 照明系統(tǒng)的設計39-41
• 4.4.1 臨界照明系統(tǒng)設計39-40
• 4.4.2 柯勒照明系統(tǒng)設計40-41
• 4.5 光電顯微鏡總體光學系統(tǒng)設計41-43
• 第五章 光電轉換與前置放大電路43-48
• 5.1 光電轉換器件43-45
• 5.1.1 光電倍增管的結構與工作原理43-44
• 5.1.2 光電倍增管的選擇44-45
• 5.2 前置放大電路45-46
• 5.3 電信號的輸出46-48
• 第六章 瞄準精度分析與實驗結果48-56
• 6.1 狹縫與狹縫大小的確定48-49
• 6.1.1 狹縫種類48
• 6.1.2 狹縫寬度的確定48-49
• 6.2 雜光對瞄準精度的影響49-51
• 6.3 分劃板的刻線對瞄準精度的影響51-52
• 6.4 調焦誤差對瞄準精度的影響52-53
• 6.5 實驗結果與精度53-56
• 第七章 總結與展望56-58
• 致謝58-59
• 參考文獻59-61
• 攻讀碩士期間發(fā)表的論文61

【相似文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 李如良;;檢定校對桿的一米比長儀[J];計量工作;1976年06期

2 Chr.Hoffrogge;袁長良;;用量塊與內外尺寸比較的比長儀[J];國外計量;1976年02期

3 馬秀馥;;精密測量零件內外尺寸用的激光干涉比長儀[J];國外計量;1974年05期

4 O.Hartmann;忻華泰;;用2米比長儀測量分度間距小于0.1毫米的線紋尺[J];國外計量;1980年03期

5 朱桂林;;西德萊茨200型數字比長儀數顯失準的調修[J];計量技術;1988年09期

6 王鐵紅;安軍;錢程;譚卓;;百分表式比長儀示值誤差測量結果不確定度評定[J];計量與測試技術;2012年12期

7 蘭維永;安軍;王淑娟;吳運鋼;沙磊;;指示表式比長儀校準方法探討[J];計量與測試技術;2012年11期

8 ;內孔比長儀的設計和應用[J];儀器制造;1974年02期

9 ;激光光波自動比長儀[J];科學通報;1973年01期

10 ;[J];;年期

中國碩士學位論文全文數據庫 前1條

1 王培芳;應用于比長儀的光電顯微鏡的設計[D];長春理工大學;2015年

，

本文編號：944771