本文關鍵詞：微縮投影系統(tǒng)的垂軸放大率測量

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【摘要】：考慮有限距光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量與系統(tǒng)垂軸放大率相關,本文提出了基于系統(tǒng)波像差檢測的垂軸放大率測量方案。以給定的光學系統(tǒng)中像平面位置與物平面位置滿足高斯公式和牛頓公式的原理為出發(fā)點,通過系統(tǒng)波像差中離焦量的變化監(jiān)控物點移動微小量后像點的移動距離。然后,對牛頓公式或高斯公式微分導出軸向放大率,最終求出系統(tǒng)垂軸放大率。建立了垂軸放大率測量模型,給出物點的微小位移量和初始離焦量的選取標準,并系統(tǒng)地分析了光學元件形位公差和像點定位精度對垂軸放大率測量結果的影響。搭建了基于點衍射干涉儀的微縮投影系統(tǒng)波像差檢測平臺,測量了系統(tǒng)的垂軸放大率。實驗顯示,系統(tǒng)垂軸放大率的測量值與理論值的偏差優(yōu)于0.24%,驗證了提出的垂軸放大率測量方法的可行性和理論分析的準確性。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 成像系統(tǒng) 微縮投影系統(tǒng) 垂軸放大率測量 點衍射干涉儀 離焦
【基金】：國家科技重大專項基金資助項目(No.2008ZX02501-008)
【分類號】：TH741.5
【正文快照】： 1引言系統(tǒng)波像差和垂軸放大率均是衡量如光刻系統(tǒng)[1-4]等有限距光學系統(tǒng)成像質(zhì)量的關鍵指標[5]。其中,光學系統(tǒng)的垂軸放大率僅取決于系統(tǒng)共軛面位置,其像差矯正通常也針對特定的物像共軛點,即在滿足特定的系統(tǒng)垂軸放大率需求的前提下完成波像差優(yōu)化。目前,垂軸放大率測量方法

【共引文獻】

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本文編號：943604