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一種新型混流器的動態(tài)配氣系統(tǒng)設計

發(fā)布時間:2017-09-28 08:20

  本文關鍵詞:一種新型混流器的動態(tài)配氣系統(tǒng)設計


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【摘要】:在實際的動態(tài)配氣系統(tǒng)中,為了快速得到濃度可控的氣體,通常需要設計特殊結構的混流器以實現(xiàn)多種氣體的混流,達到混流的目的。針對上述問題,設計了一種新型的混流器,并對傳統(tǒng)的動態(tài)配氣氣路進行了改進。通過控制系統(tǒng)反饋的數(shù)據(jù)設計實驗驗證了混流器的混流效果。
【作者單位】: 西華大學機械工程及其自動化學院;
【關鍵詞】混流器 動態(tài)配氣 氣路
【分類號】:TH702
【正文快照】: 標準氣體是指氣體狀態(tài)的標準參比物質(zhì),包括高純度標準氣體和混合標準氣體。配氣主要是指配置混合標準氣體;旌蠘藴蕷怏w是由已知含量的一種或多種組分的氣體混合到另一種不與其發(fā)生反應的背景氣體之中而制成。標準氣體的配置方法通常分為靜態(tài)法和動態(tài)法。靜態(tài)配氣法是把一定

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本文編號:934773

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