本文關鍵詞：NiCr高溫薄膜電阻應變計制備及耐高溫性能研究

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【摘要】：針對高溫環(huán)境下應力應變測試的技術難題,提出了一種以NiCr薄膜為敏感材料的高溫薄膜應變計的制備方法,并對薄膜應變計敏感層的耐高溫性能進行研究。研究發(fā)現(xiàn),NiCr薄膜在高溫下微觀結構、成分發(fā)生明顯轉變,電學性能急劇下降。對添加SiN_xO_y和ITO薄膜后的NiCr薄膜分別進行高溫測試發(fā)現(xiàn),NiCr薄膜結構、性能沒有明顯改變,表明SiN_xO_y和ITO薄膜保護下的NiCr薄膜高溫下性能穩(wěn)定。所制的高溫薄膜應變計在50~350℃內電阻溫度系數(shù)為(80~787)×10-6/K,常溫下應變靈敏系數(shù)為1.19,機械滯后為5.02,高溫下的應變測試性能有待進一步研究。
【作者單位】： 大連交通大學機械工程學院;大連交通大學材料科學與工程學院;
【關鍵詞】： NiCr高溫薄膜電阻應變計 耐高溫性能 光刻工藝 電阻溫度系數(shù)
【基金】：國家自然科學基金(51575074)項目資助
【分類號】：TH823.3
【正文快照】： 1引言電阻應變計是世界上最常用的應力分析敏感元件之一,它主要利用材料在受到外界應力時,電阻應變計的電阻值發(fā)生相應變化的特征[1],通過變換電路將電阻值變化轉換為電壓值變化的輸出。目前應力測試主要有絲式應變計和箔式應變計,由于需要將電阻應變計粘貼到待測物體表面,這

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1 ;Dynamic Calibration of the Cutting Temperature Sensor of NiCr/NiSi Thin-film Thermocouple[J];Chinese Journal of Mechanical Engineering;2011年01期

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1 周勇;渦輪葉片應變測量用NiCr薄膜應變計的研制[D];電子科技大學;2014年

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本文編號：910899