本文關鍵詞：抗非均勻反射擾動復色差動超分辨共焦顯微傳感機理研究

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【摘要】：正項目負責人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學項目批準號:509050481.項目簡介針對不同材料基底、混合材料、摻雜結構以及曲面浮雕結構的微米及亞微米尺度大臺階元件三維結構參數測量傳感機理問題,開展抗非均勻反射擾動特性的光學共焦傳感方法研究。研究工作揭示了抗擾動特性與線性區(qū)間擴展和高靈敏度響應特性的關系,描述了復色照明線性范圍與高靈敏度響應特性耦合機理,理論證明了全局最小化旁瓣抑制濾波器設計的充分必要
【關鍵詞】： 傳感機理;共焦;超分辨;復色;旁瓣抑制;濾波器設計;項目批準號;耦合機理;微米尺度;線性區(qū);
【分類號】：TH741;TP212
【正文快照】： 項目負責人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學項目批準號:509050481.項目簡介針對不同材料基底、混合材料、摻雜結構以及曲面浮雕結構的微米及亞微米尺度大臺階元件三維結構參數測量傳感機理問題,開展抗非均勻反射擾動特性的光學共焦傳感方法研究。研

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本文編號：909125