本文關(guān)鍵詞：一種基于Matlab的非球面光學(xué)元件面形參數(shù)測試技術(shù)

  更多相關(guān)文章： 非球面面形參數(shù) 接觸式輪廓儀 ZYGO干涉儀 測試精度

【摘要】：提出了一種接觸式輪廓儀測量非球面參數(shù)的新方法,該方法通過在傳統(tǒng)的二維接觸式輪廓儀基礎(chǔ)上增加旋轉(zhuǎn),從而實現(xiàn)了三維測量。為了驗證新方法的測量準確性與可行性,文中使用ZYGO干涉儀對旋轉(zhuǎn)對稱球面進行檢測,與新方法的檢測結(jié)果加以對比。最后,使用新方法對非球面光學(xué)元件的面形參數(shù)進行測試,分析結(jié)果表明新的測量方法具備較高的測試精度,滿足測量要求。
【作者單位】： 昆明物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 非球面面形參數(shù) 接觸式輪廓儀 ZYGO干涉儀 測試精度
【基金】：國防科技工業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)科研支持項目
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言非球面即為與球面有偏離的表面,在光學(xué)系統(tǒng)中采用非球面光學(xué)元件,不僅可以減少光學(xué)元件的數(shù)量和減輕重量,縮小系統(tǒng)尺寸,簡化儀器結(jié)構(gòu),而且有利于校正像差,改善成像質(zhì)量,還能夠增加光學(xué)設(shè)計的自由度,降低成本。因此在現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中得到了廣泛應(yīng)用,特別是紅外非球面光學(xué)

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本文編號：901597