本文關鍵詞：氣體質量流量控制器故障診斷裝置設計

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【摘要】：熱式氣體質量流量控制器是一種用于對氣體的質量流量實現精確控制和測量的儀表設備。它們在集成電路、材料、石化、環(huán)保、醫(yī)療、分析儀器等多種領域和行業(yè)的科研和生產中發(fā)揮著不可替代的作用。該種儀表的故障判斷檢測設備在行業(yè)中依然是空白。隨著時代的進步,電子計算機產業(yè)的普及,嵌入式設備在民用以及工業(yè)領域的應用越來越普遍�；谇度胧降母黝惞收显\斷設備和故障檢測系統(tǒng)也在諸多行業(yè)有著越來越成熟的應用。作者以多年儀器儀表行業(yè)工作經驗為基礎,總結出熱式氣體質量流量控制器的各類故障類型,分析了熱式氣體質量流量控制器原理和故障機理,利用嵌入式相關知識設計完成一個可以判斷檢測熱式氣體質量流量控制器故障的設備。本課題設計可以投入實際的售后維修工作當中,以代替人工判斷,能夠幫助企業(yè)實現維修自動化,大大提高工作效率。本課題的主要研究內容包括:(1)分析研究熱式氣體質量流量控制器原理,故障產生機理;(2)設計一套外圍系統(tǒng)用于建立標準測試氣路系統(tǒng)環(huán)境;(3)設計系統(tǒng)硬件電路原理圖和電路板圖;(4)開發(fā)Windows CE操作系統(tǒng)平臺下的硬件驅動程序;(5)選取設計故障診斷算法。
【關鍵詞】：熱式氣體質量流量控制器 嵌入式 故障診斷
【學位授予單位】：北京工業(yè)大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TH814.6
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-9
• 第1章 緒論9-17
• 1.1 質量流量控制器簡介9-11
• 1.1.1 質量流量計概述9
• 1.1.2 熱式氣體質量流量計和控制器9-10
• 1.1.3 熱式氣體質量流量控制器歷史和發(fā)展10-11
• 1.2 MFC應用狀況11
• 1.3 MFC檢修手段和現狀11-12
• 1.4 嵌入式診斷技術應用12-14
• 1.4.1 嵌入式系統(tǒng)應用12
• 1.4.2 診斷技術和診斷裝置的國內外現狀12-14
• 1.5 MFC診斷設備研究意義14
• 1.6 本章小結14-15
• 1.7 本文主要內容及結構安排15-17
• 第2章 MFC故障產生機理和分類17-25
• 2.1 氣體質量流量控制器組成17-19
• 2.1.1 概述17
• 2.1.2 分流通道17-18
• 2.1.3 傳感器18
• 2.1.4 印制電路板18-19
• 2.1.5 控制閥19
• 2.2 質量流量控制器工作原理19-20
• 2.3 故障產生機理研究20-24
• 2.4 本章小結24-25
• 第3章 診斷裝置整體構架25-31
• 3.1 需求分析25-26
• 3.1.1 實現功能25-26
• 3.1.2 硬件構架26
• 3.2 硬件開發(fā)平臺選擇26-28
• 3.3 嵌入式操作系統(tǒng)28-29
• 3.4 本章小結29-31
• 第4章 氣路系統(tǒng)及整機設計31-37
• 4.1 外圍氣路原理31-33
• 4.2 閥門管件選擇33-34
• 4.3 結構布局34-35
• 4.4 本章小結35-37
• 第5章 嵌入式平臺設計37-49
• 5.1 裝置電源設計37-38
• 5.1.1 電源功率分析37
• 5.1.2 電源選擇37-38
• 5.1.3 主板轉換電源設計38
• 5.2 模擬量輸入輸出設計38-42
• 5.2.1 A/D轉換器38-39
• 5.2.2 D/A轉換器39
• 5.2.3 A/D D/A轉換器選用39-41
• 5.2.4 負電壓輸入處理41-42
• 5.3 閥門驅動電路設計42-43
• 5.3.1 驅動電路實現原理42
• 5.3.2 繼電器選用42
• 5.3.3 驅動電路設計42-43
• 5.4 接口電路設計43-46
• 5.4.1 串口電路設計43
• 5.4.2 USB接口電路設計43
• 5.4.3 屏幕接口電路43-45
• 5.4.4 核心板接口電路45-46
• 5.5 PCB設計46-47
• 5.6 本章小結47-49
• 第六章 驅動開發(fā)49-57
• 6.1 Win CE驅動介紹49-50
• 6.2 驅動開發(fā)需求分析50-51
• 6.3 SPI驅動實現51-53
• 6.4 GPIO驅動實現53-55
• 6.5 本章小結55-57
• 第七章 診斷功能實現57-75
• 7.1 故障診斷專家系統(tǒng)57-58
• 7.2 人機界面實現58-60
• 7.3 設備整體流程60-64
• 7.4 規(guī)則庫建立64-65
• 7.5 診斷推理流程65-71
• 7.6 編程實現71-73
• 7.7 本章小結73-75
• 結論75-77
• 參考文獻77-81
• 致謝81

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4 李t，

本文編號：901282