本文關(guān)鍵詞：電熱式微機(jī)電系統(tǒng)微鏡傅里葉變換紅外光譜儀

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【摘要】：為了研制小體積、低成本、高分辨率的微型傅里葉變換紅外光譜儀,通過選擇電熱式微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)微鏡作為邁克爾遜干涉儀動鏡,在滿足了傅里葉光譜儀小型化、便攜化的同時,利用折疊雙S型Bimorph驅(qū)動結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)雙倍位移量以確保較高分辨率,并將分束器外置來進(jìn)行不同波段的靈活選擇,進(jìn)而實現(xiàn)全光譜范圍的應(yīng)用。以1 310 nm激光作為參考光光源,鎢燈寬帶光作為待測光源信號,通過信號采集、濾波、插值、光譜恢復(fù)步驟完成原始信號采集到光譜信號復(fù)原的過程。測試結(jié)果表明:電熱式微鏡的位移量可達(dá)到500μm,光譜理論分辨率1 nm,光譜儀整機(jī)尺寸小至62 mm×62 mm×28 mm。測試基線噪聲為0.000 04,基線重復(fù)性為0.000 32,吸光度重復(fù)性為0.000 48。性能指標(biāo)能滿足食品安全、藥品檢測、石油化工等領(lǐng)域的光譜檢測應(yīng)用。
【作者單位】： 貴州大學(xué)大數(shù)據(jù)與信息工程學(xué)院;貴州省光電子技術(shù)及應(yīng)用重點實驗室;無錫微奧科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 電熱驅(qū)動 MEMS微鏡 傅里葉變換紅外光譜儀 基線噪聲 吸光度
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11204046) 國際合作研究項目(2014DFA00670) 國家儀器研究專項基金(2011YQ03012407)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 0引言光譜儀是一種通過光譜信息分析物質(zhì)對光作用特征的儀器,可檢測不同物質(zhì)化學(xué)組分光譜信息。16世紀(jì)牛頓發(fā)現(xiàn)了太陽光的色散現(xiàn)象,利用棱鏡將太陽光成功分成幾種不同顏色的光,奠定了光譜學(xué)的基礎(chǔ)。18世紀(jì)克西霍夫(Gustav Robert Kirchhoff)設(shè)計了世界上第一臺光譜儀[1]。隨著

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本文編號：890052