本文關(guān)鍵詞：大口徑非球面光學(xué)研拋壓力控制系統(tǒng)

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【摘要】：根據(jù)大口徑非球面光學(xué)元件研拋工藝的需求,基于行星式研拋裝置設(shè)計(jì)了一種新型的雙路氣壓平衡研拋壓力控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)利用低摩擦氣缸,壓力傳感器和兩個(gè)電氣比例閥構(gòu)建研拋氣壓閉環(huán)回路。分析了系統(tǒng)工作原理,建立了壓力控制系統(tǒng)的非線性模型。為了實(shí)現(xiàn)恒壓控制,運(yùn)用前饋控制及雙模態(tài)PID控制算法設(shè)計(jì)了復(fù)合控制器。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)研拋壓力的平緩過渡,可完成研拋壓力的無級(jí)調(diào)節(jié)和柔性控制,輸出研拋壓力在0到350N可調(diào),穩(wěn)態(tài)壓力波動(dòng)小于1N,對(duì)氣缸活塞位移波動(dòng)干擾有較強(qiáng)的魯棒性。該系統(tǒng)基本滿足研拋系統(tǒng)對(duì)研拋壓力穩(wěn)定性和精確度的要求。
【作者單位】： 重慶大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 大口徑非球面 光學(xué)研拋 研拋壓力 壓力控制 PID控制
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61473050) 重慶市科技攻關(guān)資助項(xiàng)目(No.CSTC2012GG-YYJS40008)
【分類號(hào)】：TH74;TP273
【正文快照】： 1引言大口徑非球面光學(xué)元件加工是一個(gè)復(fù)雜的工藝過程,研拋工具和非球面間的研拋壓力直接影響非球面的研拋質(zhì)量[1]。在傳統(tǒng)的光學(xué)加工過程中,研拋細(xì)磨階段往往采用手工修拋的方式來加工光學(xué)元件,但人工施加研拋壓力存在效率低下,重復(fù)精度差等缺點(diǎn),不適合大口徑高精度光學(xué)元件

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：887448