發(fā)布時間：2017-09-19 15:03

  本文關鍵詞：濕度對微型加速度計粘連失效的影響

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【摘要】：粘連是微/納器件的一種典型失效模式,由于濕度引起的粘連失效占很大比例。以MEMS擺式加速度計為模型,分析了濕度引起粘連失效的機理,主要是毛細黏性力的影響。為了研究材料性質(zhì)和粗糙度對粘連的影響,對比鎢(W)、鋁銅(AlCu)和鋁(Al)3種不同電極材料,發(fā)現(xiàn)Al電極材料表面接觸角和表面粗糙度都很大,對應芯片的粘連比例較少。利用HMDS對粘連芯片內(nèi)表面進行疏水處理,有效減少了粘連比例。研究表明選用接觸角大的電極材料、增加電極表面粗糙度和表面疏水處理均能有效減少毛細黏性力為主導的粘連。
【作者單位】： 西安飛行自動控制研究所;
【關鍵詞】： MEMS 粘連 毛細黏性力 粗糙度 HMDS(六甲基二硅胺烷)
【基金】：863預研課題項目(2011AA110102) 國家國際科技合作項目專項項目(2011DFA72370)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 表面粘連是微/納器件失效的一種重要形式,引起粘連的表面力很多,最常見的幾種力是毛細黏性力,范德華力,靜電力和機械力等.在這幾種表面力中,毛細黏性力和范德華力是導致微/納器件失效的兩種主要形式,在RF-MEMS器件和MEMS加速度計工作過程中,以及MEMS陀螺結構釋放過程中比較常

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本文編號：882289