本文關鍵詞：原子力顯微鏡在材料器件工藝中的應用

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【摘要】：介紹了原子力顯微鏡在碲鎘汞材料器件工藝測試方面的應用。應用其可以進行磨拋后材料表面的粗糙度測試,接觸孔形貌,以及外延后襯底的表面形貌。通過合理的選擇掃描參數(shù)和探針,可以直觀得到樣品的表面形貌,接觸孔還可以得到孔的尺寸和孔底形貌。尤其在接觸孔測試方面,原子力的精度更高,抗干擾能力強且掃描結果更為直觀,準確。本文通過對碲鎘汞材料器件工藝中不同類型樣品測試的介紹,認為原子力顯微鏡在碲鎘汞材料器件工藝測試中發(fā)揮了較大的作用。
【作者單位】： 華北光電技術研究所;
【關鍵詞】： 原子力顯微鏡 形貌 接觸孔
【分類號】：TH742;TB302
【正文快照】： 1引言掃描隧道顯微鏡(STM)是1982年由國際商業(yè)機器公司蘇黎世實驗室的葛·賓尼博士和海·羅雷爾博士及其同事們共同成功研制的世界上第一臺新型表面分析儀器[1-2]。STM的工作原理是基于量子理論中的隧道效應,它測得的是樣品表面費米能級附近的電子態(tài)密度,要求所觀測的樣品必須

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本文編號：846415