本文關(guān)鍵詞：基于橋式放大機(jī)構(gòu)的柔順微定位平臺的研究

  更多相關(guān)文章： 橋式放大機(jī)構(gòu) 運動導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 柔順定位平臺 卡氏定理

【摘要】：在微位移定位平臺設(shè)計中,為充分利用橋式機(jī)構(gòu)放大比高的優(yōu)勢,同時使其具有較高的定位精度,在橋式機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上引入了運動導(dǎo)向機(jī)構(gòu),設(shè)計了一種改進(jìn)型的柔順微位移定位平臺.根據(jù)材料力學(xué)原理和卡氏定理,推導(dǎo)了該定位平臺的放大倍數(shù)和固有頻率表達(dá)式.然后通過有限元軟件,對微定位平臺的放大倍數(shù)和固有頻率進(jìn)行仿真,并與理論計算結(jié)果進(jìn)行了分析對比.最后搭建了微定位實驗系統(tǒng)來測試所設(shè)計的平臺的性能.實驗結(jié)果表明:該改進(jìn)型平臺的放大比為6.4,固有頻率為345.0 Hz.理論模型與有限元仿真得到的放大倍數(shù)和固有頻率的相對誤差分別為2.9%和3.6%,與實驗測得的放大比和固有頻率的相對誤差分別為6.7%和6.8%.實驗結(jié)果驗證了理論模型的正確性.
【作者單位】： 山東大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院高效潔凈機(jī)械制造教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 橋式放大機(jī)構(gòu) 運動導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 柔順定位平臺 卡氏定理
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61327003)
【分類號】：TH703.65
【正文快照】： 1引言(Introduction)超精密定位技術(shù)廣泛應(yīng)用于精密儀器、機(jī)械和機(jī)床、IC工藝制造設(shè)備等領(lǐng)域[1].傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)多采用直線電機(jī)、靜壓絲杠或摩擦傳動器作為驅(qū)動裝置[2],但這種方式存在摩擦、黏滯等非線性因素,難以滿足高精度定位的要求.近年來,以壓電陶瓷作為驅(qū)動器的基于柔性鉸

【參考文獻(xiàn)】

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 杜志元;劉鵬博;閆鵬;張震;;一種微位移納米定位系統(tǒng)的機(jī)械特性分析與控制[A];第26屆中國控制與決策會議論文集[C];2014年

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王家疇;李昕欣;孫立寧;;硅基集成式微型平面納米級定位平臺控制[J];儀表技術(shù)與傳感器;2009年S1期

2 盧清華;吳志偉;范彥斌;張憲民;;一種低成本微定位平臺的設(shè)計與仿真[J];中國機(jī)械工程;2013年05期

3 王家疇;榮偉彬;李昕欣;孫立寧;;基于體硅工藝的定位平臺制作工藝分析[J];光學(xué)精密工程;2008年04期

4 仉毅;馬樹元;張磊;;納米精密磁懸浮二維定位平臺的研究[J];微計算機(jī)信息;2010年01期

5 宮金良;張彥斐;胡光學(xué);;含折疊梁型移動副的微定位平臺剛度研究[J];機(jī)械設(shè)計;2012年08期

6 秦新燕;雷金;;磁懸浮定位平臺的研究綜述[J];機(jī)床與液壓;2012年21期

7 王家疇;榮偉彬;李昕欣;孫立寧;馬立;;基于體硅工藝的集成式定位平臺[J];光學(xué)精密工程;2009年02期

8 陳立國;張洋;陳濤;榮偉彬;孫立寧;;多目標(biāo)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計在納米定位平臺中的應(yīng)用[J];壓電與聲光;2011年02期

9 江濤;朱大昌;;空間三平移柔順并聯(lián)超精密定位平臺設(shè)計與分析[J];煤礦機(jī)械;2011年10期

10 洪始良;張憲民;王華;;一維精密轉(zhuǎn)動定位平臺的分析與設(shè)計[J];機(jī)械設(shè)計與研究;2008年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 陳美勇;周昌翰;郭智瑋;;適應(yīng)順滑模型控制器于高精度定位平臺之應(yīng)用[A];第二十七屆中國控制會議論文集[C];2008年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 通訊員 楊立洋 李曉林;新疆移動建成手機(jī)報警定位平臺[N];新疆日報(漢);2009年

2 記者 孫振剛　楊立洋;110報警迅速鎖定案發(fā)位置[N];人民郵電;2009年

3 記者 吳亞東;手機(jī)報警能準(zhǔn)確定位[N];法制日報;2009年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 謝虎;夾層結(jié)構(gòu)磁懸浮納米定位平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計與控制方法研究[D];北京理工大學(xué);2015年

2 周振雄;多自由度精密磁懸浮定位平臺的設(shè)計與研究[D];長春理工大學(xué);2012年

3 李志鑫;超精密氣浮定位平臺動力學(xué)特性優(yōu)化研究[D];華中科技大學(xué);2008年

4 權(quán)建洲;高速工況下H型桁架定位平臺的建模與同步控制[D];華中科技大學(xué);2010年

5 張桂林;壓電定位平臺的建模與控制方法研究[D];山東大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張小龍;面向IC封裝的氣浮定位平臺的研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2015年

2 朱軍輝;全壓電驅(qū)動的二維大行程納米定位平臺研究[D];蘇州大學(xué);2015年

3 徐晗;平面3-RRR并聯(lián)定位平臺及控制系統(tǒng)設(shè)計[D];中國礦業(yè)大學(xué);2015年

4 田奇;印刷電路板光學(xué)檢測定位平臺系統(tǒng)的設(shè)計及應(yīng)用[D];北京工業(yè)大學(xué);2015年

5 才立忠;柔性多維精密定位平臺的設(shè)計及誤差分析[D];重慶大學(xué);2015年

6 郭明陸;壓電陶瓷驅(qū)動的微納定位平臺系統(tǒng)研究[D];東北大學(xué);2014年

7 吳春婷;壓電陶瓷微定位平臺的遲滯補(bǔ)償控制方法研究[D];吉林大學(xué);2016年

8 曾穎;119手機(jī)報警定位平臺的設(shè)計與實現(xiàn)[D];福州大學(xué);2013年

9 潘鵬;基于粘滑驅(qū)動原理的跨尺度納米級定位平臺研究[D];蘇州大學(xué);2016年

10 孫玉瓊;面向壓電驅(qū)動納米定位平臺的自抗擾運動控制[D];山東大學(xué);2016年

，

本文編號：843745