本文關(guān)鍵詞：正交柱面鏡像散位移測量方法的研究

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【摘要】：為了實現(xiàn)物體位移測量的高精度,無損傷和簡單化,對柱面鏡像散效應(yīng)進(jìn)行了研究,利用正交柱面鏡像散效應(yīng)實現(xiàn)物體的位移測量。根據(jù)高斯光線追跡的矩陣方法,建立正交柱面鏡的矩陣光線傳播模型,并利用Zemax進(jìn)行仿真驗證;給出了正交柱面鏡像散位移測量系統(tǒng)的矩陣傳播模型,并具體分析了系統(tǒng)的量程和分辨率;進(jìn)行實驗驗證,在5.6 mm量程范圍內(nèi),實現(xiàn)了精度為200 nm的移位測量。該方法為位移測量提供了一種新的非接觸、高精度的光學(xué)測量方式。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測量 正交柱面鏡 像散原理 矩陣光學(xué)
【基金】：中國科學(xué)院三期創(chuàng)新基金(YYYJ-1122) 總裝備部預(yù)研基金(51201060207)
【分類號】：TH822
【正文快照】： 1引言在工業(yè)生產(chǎn),工程應(yīng)用與科學(xué)研究領(lǐng)域,物體位移的高精度實時測量得到了越來越多的關(guān)注。按照測量方式,物體位移測量可以分為兩大類:接觸式測量與非接觸式測量。光學(xué)測量是一種十分重要的非接觸測量方式,并因其自身的非接觸、無損傷、高精度等優(yōu)點得到了廣泛應(yīng)用[1-5]。光

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：815236