本文關(guān)鍵詞：200單元硅基單壓電變形鏡的設(shè)計(jì)與測(cè)試

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【摘要】：針對(duì)天文望遠(yuǎn)鏡對(duì)變形鏡的需求,設(shè)計(jì)了200單元級(jí)硅基單壓電變形鏡并對(duì)其進(jìn)行了性能測(cè)試。首先,通過有限元方法對(duì)單壓電變形鏡進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模,分析比較了電極排列形式和邊界支撐方式對(duì)變形鏡性能的影響。然后,制備了3款200單元變形鏡樣機(jī)(環(huán)形簡(jiǎn)支,環(huán)形固支,六邊形簡(jiǎn)支)。最后,利用干涉儀測(cè)量了變形鏡的影響函數(shù),并通過激光多普勒測(cè)振儀測(cè)量其頻響特性。仿真與實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:致動(dòng)器在50V電壓下變形量可達(dá)1μm,固支條件下諧振頻率在1kHz左右,對(duì)前100項(xiàng)Zernike像差具有良好的校正能力。該變形鏡在低成本天文自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中具有應(yīng)用潛力。
【作者單位】： 寧波大學(xué)機(jī)械工程與力學(xué)學(xué)院;中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系;
【關(guān)鍵詞】： 壓電變形鏡 硅基變形鏡 自適應(yīng)光學(xué) 天文望遠(yuǎn)鏡
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.11303019) 中國(guó)博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.2013M531521) 浙江省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.LQ13E050016)
【分類號(hào)】：TH751
【正文快照】： 1引言自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)通過實(shí)時(shí)控制變形鏡的鏡面產(chǎn)生與波前畸變相共軛的變形來補(bǔ)償光束,其克服了傳統(tǒng)光學(xué)無法動(dòng)態(tài)補(bǔ)償波前畸變的局限,使系統(tǒng)能夠達(dá)到衍射極限[1]。自適應(yīng)光學(xué)的發(fā)展對(duì)天文望遠(yuǎn)鏡的研究產(chǎn)生了革命性的影響,現(xiàn)代大型地基、天基望遠(yuǎn)鏡幾乎都配備了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)[

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：811730