本文關(guān)鍵詞：光柵刻劃?rùn)C(jī)刻劃系統(tǒng)光機(jī)電集成優(yōu)化方法研究

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【摘要】：針對(duì)大面積衍射光柵刻劃?rùn)C(jī)在宏觀尺度下進(jìn)行微納加工的工作特點(diǎn)以及納米級(jí)刻線檢測(cè)困難的問(wèn)題,提出了一種光機(jī)電集成優(yōu)化方法.此方法采用計(jì)算傅里葉光學(xué)和弦振動(dòng)理論進(jìn)行光柵刻線誤差分析,結(jié)合振動(dòng)實(shí)驗(yàn)及光學(xué)測(cè)量進(jìn)行驗(yàn)證,最后采用智能優(yōu)化方法對(duì)刻劃系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化.虛擬樣機(jī)仿真結(jié)果表明,刻劃系統(tǒng)的振動(dòng)幅度降低了30%,驗(yàn)證了該集成優(yōu)化方法的有效性.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系;合肥師范學(xué)院電子信息工程學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 光柵刻劃?rùn)C(jī) 光機(jī)電集成優(yōu)化 計(jì)算傅里葉光學(xué) 智能優(yōu)化
【基金】：“十一五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃重大項(xiàng)目(2006BAK03A02) 國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目(ZBYZ2008-1) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(WK2090090010) 安徽省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(1308085QE92) 合肥師范學(xué)院人才基金資助項(xiàng)目(2013RCJJ04)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 光柵制造技術(shù)作為當(dāng)今最為精密的技術(shù)之一,使得光柵刻劃?rùn)C(jī)被稱為“精密機(jī)械之王”[1].光柵刻劃?rùn)C(jī)制造的光柵質(zhì)量保證主要依靠?jī)蓚�(gè)方面:一是固定待刻光柵毛坯的分度系統(tǒng)的定位精度;二是刻劃系統(tǒng)的刻劃直線度.兩方面的精度都需要同時(shí)保證,缺一不可.國(guó)內(nèi)外的光柵刻劃?rùn)C(jī)研究,集中

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 李智勇;陳友文;;一種融入小生境技術(shù)的遺傳禁忌算法[J];湖南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年04期

2 魏s，

本文編號(hào)：757332