本文關(guān)鍵詞：聲光可調(diào)濾光器400～1000nm寬帶增透膜的制備

  更多相關(guān)文章： 聲光可調(diào)濾光器 寬帶增透膜 附著力 納米劃痕法

【摘要】：針對(duì)聲光可調(diào)濾光器的使用要求,對(duì)常用的幾種薄膜材料進(jìn)行了沉積實(shí)驗(yàn),采用傳統(tǒng)的撕離法及納米劃痕法測(cè)試了薄膜材料的附著力。選擇TiO_2和SiO_2分別作為高、低折射率鍍膜材料,通過(guò)不同方案對(duì)膜系進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。采用電子束蒸發(fā)兼離子束輔助沉積技術(shù),制備了附著力牢靠、光譜透射率滿足使用要求的TeO2晶體400~1 000nm寬帶增透膜。
【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十四研究所;
【關(guān)鍵詞】： 聲光可調(diào)濾光器 寬帶增透膜 附著力 納米劃痕法
【分類(lèi)號(hào)】：TH74;O484
【正文快照】： 0引言聲光可調(diào)濾光器(AOTF)是基于聲光互作用效應(yīng)設(shè)計(jì)的一種電調(diào)諧濾光器件,在光譜應(yīng)用中也稱為分光器件。AOTF通過(guò)調(diào)諧電信號(hào)的頻率而從寬光譜(復(fù)色光)中濾出所需光譜成分。與一般色散元件相比,AOTF具有光譜切換速度快,光學(xué)系統(tǒng)無(wú)移動(dòng)部件等特點(diǎn)。聲光可調(diào)濾光器通常采用TeO2

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 段致平;;4500，

本文編號(hào)：748592