本文關(guān)鍵詞：雙等離子體離子源的工作特性

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【摘要】：針對(duì)雙等離子體離子源受氣壓、磁場(chǎng)強(qiáng)度和放電電流影響,產(chǎn)生的O-離子束亮度不穩(wěn)定的問(wèn)題,設(shè)計(jì)并搭建了一套用于測(cè)試離子束亮度的離子光學(xué)系統(tǒng),以SHRIMP II上的雙等離子體離子源為對(duì)象,通過(guò)實(shí)驗(yàn)和仿真模擬分別研究了氣壓、磁場(chǎng)強(qiáng)度和放電電流對(duì)O-離子束亮度的影響規(guī)律。結(jié)果表明:該離子源能夠穩(wěn)定地工作在放電電流大于50 m A,氣壓為110~170 m Torr(1Torr=133.322 Pa)的條件下;當(dāng)氣壓為140 m Torr、放電電流為200 m A、磁場(chǎng)強(qiáng)度為0.25 T時(shí),獲得的O-離子束亮度能夠達(dá)到52.4 A/(cm2·sr)。合理控制離子源工作參數(shù),可以增大O-離子束亮度,提高二次離子質(zhì)譜的橫向分辨率和靈敏度。
【作者單位】： 吉林大學(xué)儀器科學(xué)與電氣工程學(xué)院;中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 儀器儀表技術(shù) 二次離子質(zhì)譜 雙等離子體離子源 離子光學(xué)系統(tǒng) 離子束亮度
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目(2011YQ050069,2011YQ05006902)
【分類號(hào)】：TH843
【正文快照】： 0引言二次離子質(zhì)譜(Secondary ion massspectrometry,SIMS)是目前靈敏度最高的表面化學(xué)分析手段之一。它具有10-9量級(jí)的靈敏度,能分析幾乎所有的導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體材料,甚至還可以檢測(cè)不易揮發(fā)的有機(jī)分子等[1-2]。其原理是使用經(jīng)過(guò)聚焦的一次離子轟擊樣品表面濺射出二次離，

本文編號(hào)：739594