本文關鍵詞：基于兩步相移干涉的微表面形貌檢測系統(tǒng)

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【摘要】：為了精確穩(wěn)定地測量物體微表面形貌,設計了一種基于改進邁克爾遜結構的空間兩步相移干涉系統(tǒng)。該系統(tǒng)在泰曼-格林偏振干涉儀的基礎之上,使用改進的邁克爾遜結構實現(xiàn)分光,采用偏振方向分別為0°和45°的兩偏振片作為相移器件,在單個CCD相機中同時記錄兩幅具有90°相移的干涉圖像,然后由離散希爾伯特變換法提取相位,獲取物體表面形貌信息。搭建了兩步相移干涉光路,并通過對玻璃平板表面的檢測,驗證了該系統(tǒng)的可行性。結果表明,在實驗室環(huán)境下系統(tǒng)重復測量結果的均方根誤差小于0.02λ,在實際微表面測量中具有良好的穩(wěn)定性。
【作者單位】： 天津大學精密儀器與光電子工程學院光電信息技術教育部重點實驗室(天津大學);
【關鍵詞】： 測量與計量 空間相移干涉 邁克爾遜結構 希爾伯特變換 測量重復性
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61275009) 高等學校博士點基金資助項目(20110032120059)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 引言相移干涉測量技術通過提取干涉圖中相位信息來實現(xiàn)光學測量,具有非接觸、高靈敏度、無損檢測、全場檢測等優(yōu)點[1]。在相移干涉測量技術中,時間相移法在擾動環(huán)境下測量誤差較大,只適用于靜態(tài)測量;而空間相移法在同一時刻采集多幅相移干涉圖像來獲取待測的相位信息,具有力學

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