本文關(guān)鍵詞：高精密滾轉(zhuǎn)角測量干涉儀

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【摘要】：現(xiàn)有的各種激光干涉儀可以方便地測量圍繞垂直于直線位移方向的兩個(gè)轉(zhuǎn)角偏移,但是對于圍繞運(yùn)動(dòng)軸的滾轉(zhuǎn)角偏移,特別是對于大行程運(yùn)動(dòng),缺乏有效的測量方法。針對各種高精密直線運(yùn)動(dòng)定位裝置,設(shè)計(jì)一個(gè)新型的差分平面干涉儀,并采用一個(gè)楔面棱鏡和楔面反射鏡,組合成為一個(gè)幾何空間對稱四光路系統(tǒng),構(gòu)成新型的高精密滾轉(zhuǎn)角激光干涉測量儀。它不需要與行程同長的大反射參考鏡,但同樣能實(shí)現(xiàn)高分辨率,而且簡便實(shí)用,可以直接溯源米定義。試驗(yàn)證明,幾何空間對稱四光路滾轉(zhuǎn)角干涉測量儀能夠有效地排除其他自由度運(yùn)動(dòng)的干擾,利用它可以快速高效地測量各種精密直線位移運(yùn)動(dòng)的滾轉(zhuǎn)角。使用普通的2π/360細(xì)分相位計(jì),測量分辨率為1.1″,若使用2π/36 000的高精密細(xì)分相位計(jì),滾轉(zhuǎn)角的測量分辨率可達(dá)到0.01″。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 滾轉(zhuǎn)角 外差干涉儀 偏振分光
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51075280)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0前言滾轉(zhuǎn)角是指物體在運(yùn)動(dòng)過程中產(chǎn)生圍繞運(yùn)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)角度誤差,因?yàn)樗请S著直線前進(jìn)的同時(shí)繞直線運(yùn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn),所以被稱作滾轉(zhuǎn)角。近年來,對超精密位移的精度要求越來越高,在各種高性能精密數(shù)控機(jī)床和三坐標(biāo)測量機(jī)中通常已經(jīng)小于100 nm或者幾十nm,在光柵刻劃工作臺(tái)和各種精密

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