本文關(guān)鍵詞：高精度透射式光電定心儀的研究

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【摘要】：針對(duì)目前定心儀產(chǎn)品精度不高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜且形式單一的現(xiàn)狀,在對(duì)傳統(tǒng)透鏡表面反射像定心法、球心自準(zhǔn)像定心法和光學(xué)電視定心法的不足進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上,提出了一種高精度透射式光電定心儀研究方法。系統(tǒng)采用激光為光源,設(shè)計(jì)了擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng),使入射到待測(cè)透鏡上的為發(fā)散角極小的平行光;利用位置敏感探測(cè)器PSD測(cè)量經(jīng)過(guò)待測(cè)透鏡會(huì)聚的光斑重心坐標(biāo),來(lái)判斷是否實(shí)現(xiàn)精確定心。該定心儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量方便,可在測(cè)量范圍+∞≥R≥-∞內(nèi),達(dá)到1μm的定心精度,在透鏡加工領(lǐng)域具有很廣闊的發(fā)展前景。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電信息學(xué)院;中國(guó)中車長(zhǎng)春軌道客車股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 定心儀 透射式 高精度 擴(kuò)束準(zhǔn)直 PSD
【基金】：吉林省科技廳項(xiàng)目(No.20100610)資助
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言在現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域中,光學(xué)儀器成為了不可或缺的重要部分。為了使光學(xué)儀器具有較高的測(cè)量精度,首先就要嚴(yán)格限制透鏡的偏心誤差,保證透鏡幾何軸與系統(tǒng)光軸的一致性,使其分辨率接近衍射極限,特別在偵察衛(wèi)星照相機(jī)鏡頭、大規(guī)模集成電路制造用微縮鏡頭、制版鏡頭以及

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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本文編號(hào)：673565