本文關鍵詞：基于應變梯度理論的光柵鋁膜本構關系表征及納米壓痕實驗

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【摘要】：基于應變梯度理論,提出了一種玻璃基底光柵鋁膜本構關系的表征方法。建立了包含基底參數(shù)和鋁膜參數(shù)的本構關系數(shù)學模型,并逐一表征了相關參數(shù)。進行了79g/mm中階梯光柵鋁膜的納米壓痕實驗,驗證了上述本構關系表征過程的正確性。提出了光柵薄膜材料和基底材料都具有尺度效應的假設,并應用納米壓痕實驗對鋁膜的尺度效應和基底效應進行了實驗表征。對光柵鋁膜壓痕實驗與含基底壓深實驗的結果進行了比較,結果顯示,在有無基底條件下,壓痕結果在應力方向上相差0.8倍,在應變方向上相差3倍。進行了光柵刻劃實驗,結果顯示壓痕實驗對刻劃實驗具有重要的指導作用。研究過程及研究結果表明:理論分析和兩種實驗可有效地分析光柵刻劃過程,有助于在實際光柵刻劃過程中減小誤差,對光柵刻劃的工藝過程具有較好的理論指導意義。
【作者單位】： 長春理工大學機電工程學院;
【關鍵詞】： 光柵刻劃 光柵鋁膜 玻璃基底 本構關系 納米壓痕
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.51075042,No.51405031)
【分類號】：TH74;O436.1
【正文快照】： 1引言衍射光柵作為一種精密的光學元件,其上有規(guī)則的配置著線、縫或槽,使光源通過衍射和干涉,經(jīng)透鏡聚焦作用形成光譜,被廣泛應用于光譜分析等科學領域[1]。光柵機械刻劃是衍射光柵制造的重要手段,在制作光柵母板等方面具有不可替代的地位[2-3]。長期以來,國內的光柵機械刻劃

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本文編號：656183