發(fā)布時間：2017-08-04 05:02

  本文關(guān)鍵詞：離心輔助微模塑法制備Fe-Ni合金微流道

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【摘要】：采用離心輔助微模塑方法,制備了Fe-Ni合金微流道。著重考察了分散劑含量和pH值對漿料分散性的影響,結(jié)果表明當(dāng)分散劑含量為1.5wt%和pH=4時,Fe-Ni乙醇基漿料的分散性最好。用聚二甲基硅氧烷(PDMS)復(fù)制帶有微結(jié)構(gòu)的原始硅模板,在PDMS彈性模上采用離心注模方法進行漿料的微成形。最終制備出微結(jié)構(gòu)完整、表面無裂紋、致密的Fe-Ni合金微流道,其最大線性收縮率為12.7%,致密度為97.3%,說明離心輔助微模塑法是一種可行的微器件制備方法。
【作者單位】： 蘭州理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤滑國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 微模塑 離心注模 Fe-Ni合金 微流道
【基金】：中國科學(xué)院“百人計劃”資助項目(孟軍虎) 國家自然科學(xué)基金資助項目(51375473)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 1引言近年來,隨著微機電系統(tǒng)的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,微器件的加工技術(shù)成為研究熱點之一。微流道作為一種廣泛使用的微器件,主要應(yīng)用于微反應(yīng)器、微傳感器和微流體設(shè)備等微系統(tǒng)中[1]。傳統(tǒng)的微器件加工方法是基于硅微加工技術(shù)的派生技術(shù),但其成本高,加工步驟復(fù)雜,應(yīng)用于低成本、

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本文編號：617800