激光干涉儀的一種快速精準校光方法——等比例偏幅調整法
本文關鍵詞:激光干涉儀的一種快速精準校光方法——等比例偏幅調整法
【摘要】:主要針對激光干涉儀在使用的時候,光路校準比較費時的問題,從激光干涉儀校準的原理及誤差出現(xiàn)原因著手分析,提出了一種快速精準的校準方法,即等比例偏幅調整法,通過此方法工人可以按照一定的規(guī)范步驟快速準確地校準光路,提高工作效率。
【作者單位】: 廣州市珠江機床廠有限公司研究院電氣部;
【關鍵詞】: 激光干涉儀 快速 精準 校光
【分類號】:TH744.3
【正文快照】: 隨著高精度數(shù)控機床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機床行業(yè)的使用越來越廣泛,然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準
【相似文獻】
中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條
1 陸伯印,,趙美蓉,徐燕申,周勝;帶有三維激光干涉儀和壓電位移執(zhí)行器的新型主動隔振系統(tǒng)[J];儀器儀表學報;1996年02期
2 廖澄清,朱小平,王蔚晨,杜華;激光干涉儀測長精度校準方法的研究[J];現(xiàn)代測量與實驗室管理;2005年01期
3 ;測角度的激光干涉儀[J];光學精密工程;1978年05期
4 順;;組合式激光干涉儀[J];應用光學;1993年02期
5 周星;用激光干涉儀測量數(shù)控機床回轉軸精度[J];工具技術;1997年02期
6 于迎紅;;激光干涉儀線性光束準直的快速調整方法[J];計量技術;2006年09期
7 蔣秀蘭;祝逸慶;馬建敏;傅云霞;蔡明鋼;葛愛明;王青;陳磊;;雙波長激光量塊干涉儀減小量塊中心長度測量不確定度的措施[J];上海計量測試;2010年06期
8 陳洪芳;林虎;殷建杰;;數(shù)字式測高儀定位誤差的測量及補償[J];機電工程;2011年02期
9 高木信雄;張耀宏;;使用激光干涉儀的直線度、超高分辨率系統(tǒng)[J];國外計量;1987年04期
10 ;GLI-100型量塊激光干涉儀研制成功[J];計量學報;1992年03期
中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條
1 方明;;激光干涉儀在水平儀檢定器檢定中的運用[A];江蘇計量測試學術論文集(2009)[C];2009年
2 曹利波;;利用激光干涉儀對機床定位精度的快速檢測[A];高精度幾何量光電測量與校準技術研討會論文集[C];2008年
3 夏瑞雪;陳曉懷;;納米三坐標測量機誤差檢定方法研究[A];第七屆全國信息獲取與處理學術會議論文集[C];2009年
4 胡小唐;禹國強;劉安偉;楊勇;;三維一體化超微定位系統(tǒng)的研制[A];第五屆全國STM學術會議論文集[C];1998年
5 高宏堂;葉孝佑;高思田;;實現(xiàn)激光干涉信號均勻分布取樣方法的研究[A];2007'中國儀器儀表與測控技術交流大會論文集(二)[C];2007年
6 方明;;數(shù)控回轉軸的檢測[A];2008年江蘇省計量測試學術論文集[C];2008年
7 馬世幫;楊紅;楊照金;郭羽;康登魁;;基于Zernike多項式的大口徑離軸拋物面平行光管定焦技術研究[A];中國光學學會2011年學術大會摘要集[C];2011年
8 楊玉潔;姜國雁;劉濤;;0.5~100mm二等量塊檢定裝置的研制[A];2010航空試驗測試技術學術交流會論文集[C];2010年
9 李杰;吳時彬;伍凡;匡龍;曹學東;;大口徑光學鏡研磨階段面形檢測技術研究[A];2009年先進光學技術及其應用研討會論文集(上冊)[C];2009年
10 王生云;鄭雪;楊紅;袁良;姜昌錄;張玫;;二次非球面光學元件面形測量裝置[A];2011西部光子學學術會議論文摘要集[C];2011年
中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條
1 蘇 林;神奇的納米激光器測尺[N];大眾科技報;2003年
中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條
1 周忠海;基于激光干涉原理的海洋災害預警關鍵技術研究[D];中國海洋大學;2009年
2 高思田;計量型原子力顯微鏡的研究[D];天津大學;2007年
3 梁浴榕;外差激光干涉儀中的高精度相位測量研究[D];華中科技大學;2013年
4 張斌;精密工程中免形狀測量的關鍵技術研究[D];北京工業(yè)大學;2012年
5 程方;納米三坐標測量機測控系統(tǒng)關鍵技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2010年
6 趙健;面向復合式測量的自感應AFM測頭開發(fā)與系統(tǒng)研究[D];天津大學;2011年
7 王晨晨;異端類型三坐標測量機結構原理及誤差修正技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2012年
8 黎永前;納米精度測量與校準系統(tǒng)關鍵技術研究[D];西北工業(yè)大學;2003年
中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條
1 于乃昭;激光干涉儀在低頻微小振動測量中的應用[D];哈爾濱工程大學;2011年
2 來展;激光干涉儀信號處理系統(tǒng)及納米測量機控制系統(tǒng)的研究[D];中國計量科學研究院;2011年
3 黃根旺;斐索型移相式激光干涉儀研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2011年
4 付志遠;相位調制激光干涉儀信號處理方法研究[D];合肥工業(yè)大學;2014年
5 朱榮芳;基于ARM的激光干涉儀抗振技術研究[D];南京理工大學;2014年
6 鄒建忠;激光干涉儀跟蹤式無導軌測量的研究[D];西安理工大學;2001年
7 劉寧;雙光路激光干涉測長儀及其在三坐標機上的使用[D];天津大學;2005年
8 金小兵;硅片調焦調平測量系統(tǒng)性能測試方法研究[D];華中科技大學;2007年
9 高宏堂;2.5維大范圍納米激光干涉測長信號處理子系統(tǒng)的研究[D];中國計量科學研究院;2005年
10 孫拉拉;能量天平位移測量系統(tǒng)研制[D];合肥工業(yè)大學;2009年
本文編號:604839
本文鏈接:http://www.sikaile.net/kejilunwen/yiqiyibiao/604839.html