本文關鍵詞：激光干涉儀的一種快速精準校光方法——等比例偏幅調整法

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【摘要】：主要針對激光干涉儀在使用的時候,光路校準比較費時的問題,從激光干涉儀校準的原理及誤差出現(xiàn)原因著手分析,提出了一種快速精準的校準方法,即等比例偏幅調整法,通過此方法工人可以按照一定的規(guī)范步驟快速準確地校準光路,提高工作效率。
【作者單位】： 廣州市珠江機床廠有限公司研究院電氣部;
【關鍵詞】： 激光干涉儀 快速 精準 校光
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 隨著高精度數(shù)控機床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機床行業(yè)的使用越來越廣泛,然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準

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