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楔形導模共振濾波片的光譜分析

發(fā)布時間:2017-07-31 03:06

  本文關鍵詞:楔形導模共振濾波片的光譜分析


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【摘要】:針對通信波段設計并制作了楔形波導層的導模共振濾波片(GMRF),分析并研究了其光譜特性。采用三角掩模板的方法進行離子束刻蝕,刻蝕一定次數后獲得楔形波導層。光柵線條方向分為平行于和垂直于楔形波導層變化的方向。實驗結果表明,對于兩種結構,共振峰的位置與濾波片上的位置呈近似線性關系。光柵刻槽平行于楔形層變化的方向時共振峰的半峰全寬較光柵刻槽垂直于楔形層變化的方向時大。最終在20mm的樣品上,獲得了線性漸變的Ta_2O_5楔形薄膜,其反射譜在1560~1600nm范圍內近似于線性變化。
【作者單位】: 上海理工大學光電信息與計算機工程學院上海市現代光學系統重點實驗室教育部光學儀器與系統工程中心;
【關鍵詞】光譜學 導模共振濾光片 楔形波導層 離子束刻蝕
【基金】:國家重點基礎研究發(fā)展計劃(2015CB352001) 國家重大科學儀器設備開發(fā)專項(2011YQ14014704) 國家自然科學基金(61378060,61205156) 上海市科學儀器重點項目(14142200902)
【分類號】:TH74;O433
【正文快照】: 光譜儀能獲取物質的光信息并分析檢測物質中的元素,在科研、食藥和醫(yī)學檢測等領域應用廣泛。微型光譜儀由于體積小、結構簡單、方便攜帶,受到人們的青睞。在光譜儀中有多種色散元件,比如傳統的衍射光1011001-1柵和棱鏡。目前大多數微型光譜儀仍利用光的干涉原理,用光柵將復雜

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本文編號:597177

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