本文關(guān)鍵詞：不同結(jié)構(gòu)絕對(duì)光柵尺的誤碼機(jī)制研究

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【摘要】：針對(duì)光柵尺具有斷電位置復(fù)位、無累計(jì)誤差、高精度優(yōu)點(diǎn),在光學(xué)隔振平臺(tái)上分別建立開放式和封閉式絕對(duì)光柵尺實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),絕對(duì)光柵尺采用圖像識(shí)別原理,以氣浮直線電機(jī)ArotechABL1500為參考對(duì)象,使用激光干涉儀RENISHAW XL-80校核精度,研究不同結(jié)構(gòu)絕對(duì)光柵尺的誤碼特點(diǎn)及原因。通過對(duì)比實(shí)驗(yàn)及研究分析,表明封閉式絕對(duì)尺相對(duì)于開放式絕對(duì)尺的誤碼率要高,開放式絕對(duì)式光柵尺的誤碼率為3%,封閉式絕對(duì)式光柵尺的誤碼率為8%。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院;廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 絕對(duì)光柵尺 圖像識(shí)別 開放式 封閉式 誤碼
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51305084) 廣東省創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)資助項(xiàng)目(201001G0104781202) 國家自然科學(xué)基金-廣東省聯(lián)合基金重點(diǎn)項(xiàng)目(U1134004) 廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(GDMNML2013-O1) 廣東省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(2011A060901026)
【分類號(hào)】：TH71;TP391.41
【正文快照】： 引言光柵尺廣泛運(yùn)用于精密儀器設(shè)備[1-2],它的精度對(duì)全自動(dòng)設(shè)備發(fā)揮著非常重要的作用[3-4]。就功能而言,光柵尺分為增量式和絕對(duì)式,隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,絕對(duì)式光柵尺具有越來越大優(yōu)勢(shì),因?yàn)榻^對(duì)尺具有增量式光柵尺所沒有的優(yōu)點(diǎn):上電后直接得到當(dāng)前位置信息,無需“歸零”操作,簡(jiǎn)

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本文編號(hào)：575124