本文關(guān)鍵詞：基于相位恢復(fù)的光學(xué)元件面形檢測技術(shù)研究

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【摘要】：利用標(biāo)量衍射的角譜理論,研究了基于兩幅光強(qiáng)分布的相位恢復(fù)算法,并將此算法應(yīng)用到光波的波前及光學(xué)元件面形的檢測中。實(shí)驗(yàn)研究了球面光波波前的相位恢復(fù)及面形檢測,給出了恢復(fù)波前與理想波前之間的偏差,采用求Zernike系數(shù)的廣義逆矩陣的方法,用程序?qū)崿F(xiàn)了光學(xué)元件面形的Zernike擬合。
【作者單位】： 空軍工程大學(xué)理學(xué)院;西安應(yīng)用光學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 角譜理論 相位恢復(fù) 面形 Zernike擬合
【基金】：陜西省自然科學(xué)基金(2010JM8012)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言相位恢復(fù)測量是一種新興的測量手段,是相位恢復(fù)技術(shù)在鏡面測量領(lǐng)域的應(yīng)用[1-6]。它通過采集被測鏡反射或者透射的光場強(qiáng)度,由相位恢復(fù)算法計(jì)算出被測鏡的面形分布。相位恢復(fù)測量系統(tǒng)通常由照明光源、被測鏡以及圖像采集器(如CCD)組成。與干涉測量相比,它的結(jié)構(gòu)簡單(無需參

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 單寶忠,王淑巖,牛憨笨,劉頌豪;Zernike多項(xiàng)式擬合方法及應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2002年03期

2 劉劍峰,龍夫年,張偉,王治樂;基于澤尼克多項(xiàng)式進(jìn)行面形誤差擬合的頻域分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2005年08期

3 孫學(xué)真;蘇顯渝;荊海龍;;抽樣點(diǎn)對基于Zernike多項(xiàng)式曲面擬合精度的影響[J];光學(xué)儀器;2008年04期

4 李圣怡;胡曉軍;吳宇列;;大鏡面在位檢測中的相位恢復(fù)技術(shù)研究[J];光子學(xué)報(bào);2009年02期

5 曾發(fā);譚峭峰;魏曉峰;向勇;嚴(yán)瑛白;金國藩;;一種可對復(fù)雜光場進(jìn)行相位恢復(fù)的算法[J];中國激光;2006年03期

6 姜昌錄;黎高平;范琦;郭羽;;相位恢復(fù)算法用于光學(xué)面形檢測的實(shí)驗(yàn)研究[J];應(yīng)用光學(xué);2011年06期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉家國;李林;;光機(jī)熱集成分析中數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換接口研究[J];北京理工大學(xué)學(xué)報(bào);2007年05期

2 段錦;王曦澤;景文博;付強(qiáng);;基于Zernike多項(xiàng)式的大氣湍流相位屏的數(shù)值模擬[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年03期

3 杜昌平;周德云;江愛偉;;空空導(dǎo)彈可攻擊區(qū)的遞推算法研究[J];彈箭與制導(dǎo)學(xué)報(bào);2005年S5期

4 漢語;伍凡;萬勇建;房凱;;Tikhonov正則化在Zernike多項(xiàng)式擬合中的應(yīng)用[J];光電工程;2010年07期

5 廖志遠(yuǎn);邢廷文;劉志祥;;矩形孔徑上折射率均勻性數(shù)據(jù)擬合研究[J];光電工程;2011年11期

6 張建鋒;曹學(xué)東;景洪偉;吳時(shí)彬;陰旭;;基于旋轉(zhuǎn)法的干涉儀系統(tǒng)誤差標(biāo)定[J];光電工程;2011年12期

7 馮婕;白瑜;邢廷文;;Zernike多項(xiàng)式波面擬合精度研究[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2011年02期

8 王瑞林;張麗霞;邢廷文;;不同針孔直徑下衍射波面的標(biāo)量和矢量分析[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2011年06期

9 刁彬彬;王輝;鄧麗軍;;基于空間光調(diào)制器的多強(qiáng)度測量相位恢復(fù)方法[J];光電子.激光;2011年11期

10 程鴻;張成;韋穗;汪偉;;自然光條件下成像的相位檢索方法與系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];光電子.激光;2012年07期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 徐文聰;楚天廣;;一種尋找星圖光斑質(zhì)心的高精度算法[A];第二十九屆中國控制會議論文集[C];2010年

2 張軍強(qiáng);董得義;吳清文;顏昌翔;張新潔;;光學(xué)遙感器鏡面面形誤差及剛體位移處理方法[A];第九屆全國信息獲取與處理學(xué)術(shù)會議論文集Ⅱ[C];2011年

3 王欣;丁學(xué)專;楊波;繆斌;;空間遙感相機(jī)的熱像差研究[A];2009年先進(jìn)光學(xué)技術(shù)及其應(yīng)用研討會論文集（下冊）[C];2009年

4 羅積軍;侯素霞;徐軍;趙法林;;環(huán)路徑向剪切干涉測量激光束波前畸變的研究[A];第九屆全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文集（上冊）[C];2010年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 康巖輝;阿伏伽德羅常數(shù)測量中硅球直徑測量的若干關(guān)鍵問題研究[D];天津大學(xué);2009年

2 丁凌艷;非球面相位恢復(fù)檢測技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

3 滿玉春;基于數(shù)字莫爾條紋的非球面檢測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

4 王忠生;復(fù)雜光瞳成像計(jì)算機(jī)仿真與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

5 于海利;基于雙頻激光干涉測量的大行程納米定位技術(shù)及其應(yīng)用研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

6 陳旭;溫度變化對絕對檢驗(yàn)面形變形影響與補(bǔ)償器方法研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

7 壽建軍;空間可展結(jié)構(gòu)逆設(shè)計(jì)及宇航結(jié)構(gòu)的裝卡研究[D];浙江大學(xué);2008年

8 楊磊;虛擬樣機(jī)技術(shù)及其在航天遙感器研發(fā)中的應(yīng)用[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

9 鞏盾;溫度對遙感器光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的影響[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

10 程鴻;基于強(qiáng)度測量的確定性相位檢索[D];安徽大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孫威;Φ800mm通光口徑紋影系統(tǒng)結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)[D];中國工程物理研究院;2010年

2 王昶;GPS高程擬合模型與方法研究[D];遼寧工程技術(shù)大學(xué);2009年

3 尚紅波;超短脈沖激光時(shí)空特性的仿真研究[D];浙江大學(xué);2011年

4 尹曉虎;激光雷達(dá)液晶相控陣波控?cái)?shù)據(jù)優(yōu)化算法研究[D];電子科技大學(xué);2011年

5 周智強(qiáng);光學(xué)自由曲面設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)共享及軟件開發(fā)[D];吉林大學(xué);2011年

6 李利;光學(xué)自由曲面加工誤差對光學(xué)性能的影響[D];吉林大學(xué);2011年

7 牟國強(qiáng);像散光學(xué)系統(tǒng)中的光束聚焦特性研究[D];西南交通大學(xué);2011年

8 王海燕;相位恢復(fù)算法及應(yīng)用研究[D];安徽大學(xué);2011年

9 陳世麗;雙光纖共球耦合傳感器圖像信號處理關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

10 何煜濤;透鏡光學(xué)傳遞函數(shù)的測量[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張強(qiáng),姜文漢,許冰;利用Zernike多項(xiàng)式對湍流波前進(jìn)行波前重構(gòu)[J];光電工程;1998年06期

2 鄢靜舟,雷凡,周必方,高志強(qiáng);用Zernike多項(xiàng)式進(jìn)行波面擬合的幾種算法[J];光學(xué)精密工程;1999年05期

3 單寶忠,陳恩濤,盧鍔,武克用;空間光儀光機(jī)熱集成分析方法[J];光學(xué)精密工程;2001年04期

4 單寶忠,王淑巖,牛憨笨,劉頌豪;Zernike多項(xiàng)式擬合方法及應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2002年03期

5 單寶忠,武克用,盧鍔;彈性基體對光學(xué)儀器動(dòng)態(tài)特性的影響[J];光學(xué)精密工程;1997年06期

6 唐健冠,伍凡,吳時(shí)彬;大口徑非球面精磨表面形狀檢測技術(shù)研究[J];光學(xué)技術(shù);2001年06期

7 劉月愛;條紋分析中一種簡單的Zernike多項(xiàng)式擬合方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1985年04期

8 劉蘭琴,吳毅;光束波前畸變的契伯格-山克斯頓測量方法探討[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2000年09期

9 李新陽,姜文漢;哈特曼-夏克傳感器的澤尼克模式波前復(fù)原誤差[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2002年10期

10 莫衛(wèi)東;數(shù)字平面檢測系統(tǒng)誤差和精度評價(jià)方法的研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2003年07期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 應(yīng)義斌;桂江生;饒秀勤;;基于Zernike矩的水果形狀分類[J];江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年01期

2 付波;權(quán)軼;程瓊;;一種快速計(jì)算Zernike矩的混合算法[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年11期

3 黃榮兵;杜明輝;梁幗英;謝德鑫;;一種改進(jìn)的偽Zernike矩快速計(jì)算方法[J];華南理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2009年01期

4 周云龍;袁俊文;顧楊揚(yáng);;Zernike矩在氣液兩相流流型識別中的應(yīng)用[J];自動(dòng)化儀表;2010年04期

5 潘春雨;盧志剛;杜靜;;Zernike矩的不變性分析及其改進(jìn)[J];火力與指揮控制;2010年S1期

6 曹正林;廖文和;沈建新;;Zernike多項(xiàng)式擬合人眼波前像差的一種新算法[J];光學(xué)精密工程;2006年02期

7 ;Mode shape description of an aero-engine casing structure using Zernike moment descriptors[J];航空動(dòng)力學(xué)報(bào);2011年04期

8 胡文;劉洪濤;胡春;范明霞;莫錦秋;王石剛;;基于偽Zernike矩不變量分析的視覺測力[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2013年04期

9 蘇開娜,喬曉梅;基于Zernike矩的人體行為識別[J];北京工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2005年04期

10 李福;阮萍;馬小龍;趙葆常;;用Zernike多項(xiàng)式實(shí)現(xiàn)光機(jī)分析的技術(shù)方法[J];應(yīng)用光學(xué);2007年01期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 屈金祥;;Zernike多項(xiàng)式及其在低溫光學(xué)中的應(yīng)用[A];上海市制冷學(xué)會2005年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

2 鄧榮峰;李熙瑩;吳高峰;;基于Zernike矩與網(wǎng)格特征的車牌字符識別方法[A];圖像圖形技術(shù)研究與應(yīng)用2009——第四屆圖像圖形技術(shù)與應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2009年

3 黃慶梅;趙達(dá)尊;;彩色媒質(zhì)色域邊界面的Zernike多項(xiàng)式表示[A];加入WTO和中國科技與可持續(xù)發(fā)展——挑戰(zhàn)與機(jī)遇、責(zé)任和對策（下冊）[C];2002年

4 段鵬飛;王偉剛;;光學(xué)圓錐非球面的Zernike多項(xiàng)式擬合[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

5 劉志祥;馬冬梅;田園;馬磊;卞江;;Zernike環(huán)多項(xiàng)式擬合及應(yīng)用分析[A];第十二屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2008年

6 段海峰;楊澤平;王淑青;張雨東;;夏克-哈特曼傳感器任意形狀孔徑波前的模式重構(gòu)及Zernike多項(xiàng)式描述[A];第六屆全國激光科學(xué)技術(shù)青年學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2001年

7 許澤帥;羊毅;蘭衛(wèi)華;;基于HV-21模型和Zernike法大氣湍流的模擬[A];黑龍江、江蘇、山東、河南、江西 五省光學(xué)（激光）聯(lián)合學(xué)術(shù)‘13年會論文（摘要）集[C];2013年

8 劉紅剛;杜軍平;梁美玉;王超;曹守鑫;;基于Zernike矩的運(yùn)動(dòng)圖像序列時(shí)空超分辨率重建[A];2013年中國智能自動(dòng)化學(xué)術(shù)會議論文集（第五分冊）[C];2013年

9 M.Sugiyama;S.Kawabe;K.Mori;K.Itoh;T.Fukunaga;;Development of Analyzing Method of Small-Angle Scattering for Size Distribution of Segregation Particles in Metal Alloy[A];Kurri Progress Report 2009[C];2010年

10 ;RESEARCH ON REAL-TIME ERROR MEASUREMENT IN CURVE GRINDING PROCESS BASED ON MACHINE VISION[A];2006年中國機(jī)械工程學(xué)會年會暨中國工程院機(jī)械與運(yùn)載工程學(xué)部首屆年會論文集[C];2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 童桂;人眼波前像差微型自適應(yīng)光學(xué)校正系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京航空航天大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉文峰;基于Zernike矩的數(shù)字圖像水印研究[D];華南理工大學(xué);2012年

2 高新燕;基于Zernike矩的骨刻文形狀分析[D];山東大學(xué);2013年

3 王勃飛;基于Pseudo-Zernike矩的數(shù)字識別研究[D];華中科技大學(xué);2007年

4 蔡小帥;Zernike矩形狀描述子不變量研究[D];太原科技大學(xué);2014年

5 周尉剛;PCNN和Zernike矩在遙感圖像處理和目標(biāo)識別的應(yīng)用[D];電子科技大學(xué);2010年

6 翟田田;基于Zernike不變矩的數(shù)字圖像水印研究[D];浙江理工大學(xué);2012年

7 高瑋瑋;視網(wǎng)膜細(xì)胞顯微鏡波前重建技術(shù)研究[D];南京航空航天大學(xué);2010年

8 王慧倩;工業(yè)CT圖像高精度尺寸測量方法研究[D];重慶大學(xué);2011年

9 朱莉;基于DSP的柑橘形狀分級技術(shù)[D];浙江工業(yè)大學(xué);2009年

10 王超;空間大口徑反射鏡優(yōu)化設(shè)計(jì)及其支撐技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（西安光學(xué)精密機(jī)械研究所）;2014年

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本文編號：571893