本文關(guān)鍵詞：大光柵刻劃機(jī)氣浮刀架導(dǎo)軌設(shè)計與分析

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【摘要】：嘗試在大型衍射光柵刻劃機(jī)中使用氣浮導(dǎo)軌承載金剛石刻劃刀具系統(tǒng)運(yùn)行。氣浮導(dǎo)軌同時承擔(dān)刀具系統(tǒng)的承重與導(dǎo)向任務(wù),由于使用氣體作為潤滑劑而接近零摩擦狀態(tài),可以避免觸點(diǎn)磨損及低速爬行現(xiàn)象。分析了氣浮導(dǎo)軌工作過程中產(chǎn)生的誤差及該誤差對刻劃刀具運(yùn)動軌跡的影響,并使用雙頻激光干涉儀測量刻劃過程中刻劃刀具運(yùn)動的直線度誤差。測量結(jié)果表明,金剛石刀具系統(tǒng)單向行程400 mm時,該誤差約為200 nm,小于使用石英導(dǎo)軌承載刀具系統(tǒng)時的誤差,同時在高頻振動方面有明顯改善�？讨埔欢�79 gr/mm,400 mm×500 mm的中階梯光柵,觀察其衍射光斑并使用照度計檢測得其不同位置雜散光強(qiáng)度為0.2‰~5‰,實(shí)驗結(jié)果表明使用氣浮導(dǎo)軌承載刻劃刀具可以滿足光柵刻劃精度要求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光柵 衍射光柵 光柵刻劃機(jī) 氣浮導(dǎo)軌 雙頻激光干涉儀 刀架系統(tǒng)
【基金】：國家重大科研裝備研制項目(ZBYZ2008-1)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 1引言衍射光柵是一種具有周期性浮雕結(jié)構(gòu)的特種分光元件,廣泛應(yīng)用于各類光譜儀器之中[1-3]。衍射光柵的制作方法主要分為機(jī)械刻劃與全息曝光兩種。機(jī)械刻劃是由安裝有金剛石刻刀的刀架相對于光柵基底進(jìn)行等速往復(fù)運(yùn)動,在光柵基底表面擠壓出一系列等間距的直線刻槽[4],此種刻劃

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【相似文獻(xiàn)】

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