白光干涉測(cè)量是采用具有一定光譜寬度的白光代替單色光作為干涉光源進(jìn)行測(cè)量的特殊干涉測(cè)量技術(shù)。根據(jù)白光干涉信號(hào)的相干長(zhǎng)度短、相干峰非常明顯的特性,采用了垂直掃描干涉測(cè)量的方式獲取干涉信號(hào)。相干峰尋址法是在垂直掃描測(cè)量的基礎(chǔ)上提出的,具有較高的計(jì)算精度和較大的適用性。本文將相干峰尋址法的11種算法分為直接求解法、包絡(luò)曲線擬合法和加權(quán)平均法三類進(jìn)行闡述,并通過(guò)仿真每種算法分析各種算法的優(yōu)缺點(diǎn)以及適用性和局限性。

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【部分圖文】：

圖1邁克爾遜白光干涉系統(tǒng)

白光干涉測(cè)量解決了單色激光干涉測(cè)量的量程較小,精度不足的問(wèn)題,在干涉定位和非接觸式測(cè)量方面有廣泛的應(yīng)用[1]。白光干涉多采用垂直掃描法進(jìn)行測(cè)量,如圖1所示。光源出射光準(zhǔn)直后被分光鏡(BS)分束,分別到達(dá)測(cè)試面和標(biāo)準(zhǔn)面后得到表面信息,反射光束再被BS合束后到探測(cè)器,采用壓電陶瓷(P....

圖2模擬白光干涉信號(hào)

相干峰尋址法根據(jù)白光信號(hào)相干長(zhǎng)度短、相干峰明顯的特性提出的:以高度不同的兩點(diǎn)為例,掃描測(cè)量的過(guò)程中兩點(diǎn)依次出現(xiàn)相干峰,以相干峰峰值點(diǎn)的位置為參照,兩個(gè)相干峰峰值點(diǎn)在Z軸上的差值就是兩點(diǎn)的高度差,如圖3所示。實(shí)現(xiàn)相干峰尋址法的具體算法很多,不同的算法具有不同的相干峰定位精度和不同的....

圖3相干峰尋址法

圖2模擬白光干涉信號(hào)2白光掃描干涉信號(hào)算法

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