依據(jù)穆勒橢偏測量方法中偏振光的傳輸方式,提出了一種橢偏系統(tǒng)中光學(xué)元件參數(shù)的定標(biāo)方法。通過建立出射光強關(guān)于起偏器和檢偏器透光軸方位角、旋轉(zhuǎn)補償器方位角和相位延遲的非線性最小二乘模型,用列文伯格-馬夸爾特(Levenberg-Marquardt,LM)算法對初始參數(shù)進(jìn)行迭代。求解出光學(xué)元件參數(shù)的精確值,從而實現(xiàn)對元件的定標(biāo)。通過仿真實驗,利用已知穆勒(Mueller)矩陣且標(biāo)定值為(24.90±0.30) nm的SiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣片,基于LM算法迭代計算光強值的殘差平方和。實驗可得當(dāng)?shù)螖?shù)為50次時,殘差平方和收斂到最小值0.24;與傳統(tǒng)多點標(biāo)定法進(jìn)行對比試驗,驗證了基于LM算法求解光學(xué)參數(shù)的可行性;用標(biāo)定值為(91.21±0.36) nm的SiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行驗證,得到膜厚的計算值為91.53 nm,相對誤差為0.35%。結(jié)果表明:在穆勒橢偏系統(tǒng)參數(shù)標(biāo)定中,LM算法具有收斂速度快,計算精度高等優(yōu)點。

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本文編號：3900503