微觀世界的成像技術(shù)是研究材料結(jié)構(gòu)和特性的最直接和最有效的方法,其技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展與物理學、化學、生物技術(shù)和其他領域的發(fā)展密切相關。近年來,隨著集成電路和納米科學技術(shù)的飛速發(fā)展,需要發(fā)明更先進的檢測儀器來檢測微觀結(jié)構(gòu)材料的成膜質(zhì)量、電磁參數(shù)分布等重要屬性。另外,在基礎生物學研究領域,必須通過高分辨率生物學成像方法獲得有關生物系統(tǒng)動態(tài)變化的信息,以便準確了解生物體的內(nèi)部機制。與遠場顯微術(shù)對比,近場顯微術(shù)突破了阿貝衍射極限,可以分辨尺寸小于二分之一波長以下的物質(zhì),分辨率大大提高。另外微波具有穿透性,能夠檢測物體表面及更深層次的信息。因此近場掃描微波顯微鏡系統(tǒng)倍受工業(yè)界的重視,隨著該系統(tǒng)的研究突破與發(fā)展,它在半導體集成技術(shù)、生命科學領域的成像應用得到認可。但是該系統(tǒng)的成像策略存在一些缺點,最大的問題是由于樣品臺或樣品本身微弱且無法分辨的傾斜,給全局掃描參數(shù)帶來傾斜誤差,導致其成像的圖像因水平傾斜一定的角度而失真;另外系統(tǒng)裝置的機械噪聲引起信號的噪聲,導致成像圖像存在噪點。因此,隨著掃描近場微波顯微鏡往更高分辨率領域發(fā)展,迫切需要提出一些修正方法來解決其成像失真的問題。本文在近場掃描微波顯微鏡系統(tǒng)...

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學位級別】：碩士

本文編號：3878220