激光干涉位移測量技術(shù)是目前位移測量領(lǐng)域的主流技術(shù)。其具有分辨率高、測量速度快、溯源好的特點。利用激光干涉位移測量技術(shù),可以實現(xiàn)工作臺的高精度測量。首先介紹了目前主要的激光干涉位移測量技術(shù),并對干涉儀的特點進(jìn)行了分析,最后介紹了激光干涉位移測量在XY工作臺定位精度、垂直度測量的應(yīng)用。

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【文章目錄】：
1 激光干涉儀的原理
    1.1 單頻激光干涉儀
    1.2 雙頻激光干涉儀
2 SJ6000激光干涉儀在XY工作臺性能指標(biāo)測量中的應(yīng)用
    2.1 XY工作臺位移精度測量
    2.2 XY工作臺垂直度測量
        2.2.1 XY工作臺垂直度測量原理
        2.2.2 測量步驟
        2.2.3 垂直度測量所用組件
        2.2.4 垂直度測量應(yīng)用
3 影響測量精度的因素
    3.1 環(huán)境誤差
    3.2 空氣波動和機(jī)器振動
    3.3 斜率誤差
    3.4 光學(xué)反射鏡的誤差
    3.5 光學(xué)器件的清潔
4 結(jié)束語



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