根據(jù)激光干涉儀測量位移的原理,分析了工件臺干涉儀系統(tǒng)的測量位移的原理,由于激光干涉儀反射鏡因?yàn)榧庸ぶ圃煊腥毕輳亩鴷a(chǎn)生測量誤差,以及設(shè)計出了干涉儀反射鏡面型誤差計算方法。最后利用三次樣條插值函數(shù)算法對模擬的運(yùn)動臺位置進(jìn)行仿真分析,得到在±0.2m行程范圍內(nèi),YMX面型值的最大誤差在1.68×10-10m,XΦZ最大誤差的值是1.06×10-6rad,這種方法可以為實(shí)際工程應(yīng)用提供參考價值。

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【文章目錄】：
0 引言
1 激光干涉儀測量位移原理概述
    1.1 激光干涉儀測量位移原理
    1.2 干涉儀測量位移系統(tǒng)
2 干涉儀反射鏡面型校準(zhǔn)
    2.1 面型校準(zhǔn)的原因
    2.2 反射鏡面型計算方法
    2.3 公式推導(dǎo)
3 仿真實(shí)驗(yàn)與分析
    3.1 三次樣條插值算法
    3.2 模型仿真
4 結(jié)束語



本文編號：3856322