高精度靜電懸浮加速度計可作為海空重力測量儀器中的核心傳感器,檢驗質(zhì)量的位移檢測電路是加速度計控制系統(tǒng)的核心,其精度直接影響了加速度計零偏和標(biāo)度因數(shù)的穩(wěn)定性,因此需要研究分辨率高、噪聲小的位移檢測系統(tǒng)。針對高精度靜電懸浮加速度計的地面應(yīng)用需求,以大表面積質(zhì)量比的敏感探頭結(jié)構(gòu)為測量對象,設(shè)計了基于差動電容的位移檢測電路,建立了電容檢測電路的數(shù)學(xué)模型,對電路誤差源進(jìn)行了系統(tǒng)分析。實驗結(jié)果表明,該電路能夠有效地抑制懸浮高壓引入的耦合誤差,減小電路噪聲。當(dāng)電路工作在零點附近,20kHz內(nèi)的噪聲小于2×10^-6V/Hz^1/2,對應(yīng)電容檢測分辨率為2.93×10^-5pF/Hz^1/2,能夠滿足地面應(yīng)用靜電加速度計對位移測量精度的要求。

【文章頁數(shù)】：12 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 大表面積質(zhì)量比的敏感探頭結(jié)構(gòu)
2 位移檢測電路的設(shè)計
    2.1 電容檢測電路的數(shù)學(xué)模型
    2.2 高壓反饋信號的設(shè)計
3 仿真與實驗驗證
    3.1 電路幅頻、相頻響應(yīng)特性的仿真
    3.2 電容檢測電路的誤差分析
    3.3 電路線性度測試
    3.4 電路噪聲測試
    3.5 增益的溫度穩(wěn)定性測試
4 結(jié)論



本文編號：3808474